韩山师范学院学报
韓山師範學院學報
한산사범학원학보
JOURNAL OF HANSHAN TEACHERS COLLEGE
2010年
3期
48-52
,共5页
真空%镀膜%PLC%A/D转换
真空%鍍膜%PLC%A/D轉換
진공%도막%PLC%A/D전환
分析了ZD450型真空镀膜机的扩散油容易失效和真空计的电离规管容易损环的原因,设计了应用PLC对控制系统进行改造的方案.针对扩散油失效的原因是在关机前没有将真空室里的空气抽净,使扩散油高温氧化所致,增加了关机前的抽空冷却程序.针对电离规管灯丝烧断是由真空室里的压强未小于1×10-2 Pa时通电所致,增加了灯丝启动保护环节,并以FX2N-4AD为A/D转换器作为真空测量机构代替真空计,提高了系统的自动化程度.
分析瞭ZD450型真空鍍膜機的擴散油容易失效和真空計的電離規管容易損環的原因,設計瞭應用PLC對控製繫統進行改造的方案.針對擴散油失效的原因是在關機前沒有將真空室裏的空氣抽淨,使擴散油高溫氧化所緻,增加瞭關機前的抽空冷卻程序.針對電離規管燈絲燒斷是由真空室裏的壓彊未小于1×10-2 Pa時通電所緻,增加瞭燈絲啟動保護環節,併以FX2N-4AD為A/D轉換器作為真空測量機構代替真空計,提高瞭繫統的自動化程度.
분석료ZD450형진공도막궤적확산유용역실효화진공계적전리규관용역손배적원인,설계료응용PLC대공제계통진행개조적방안.침대확산유실효적원인시재관궤전몰유장진공실리적공기추정,사확산유고온양화소치,증가료관궤전적추공냉각정서.침대전리규관등사소단시유진공실리적압강미소우1×10-2 Pa시통전소치,증가료등사계동보호배절,병이FX2N-4AD위A/D전환기작위진공측량궤구대체진공계,제고료계통적자동화정도.
