电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2011年
4期
9-13,28
,共6页
曹秀芳%姚立新%祝福生%宋文超
曹秀芳%姚立新%祝福生%宋文超
조수방%요립신%축복생%송문초
硅片%污染物%标准工业湿法清洗%槽式清洗%旋转甩干%单片旋转清洗
硅片%汙染物%標準工業濕法清洗%槽式清洗%鏇轉甩榦%單片鏇轉清洗
규편%오염물%표준공업습법청세%조식청세%선전솔간%단편선전청세
简要介绍了硅片湿化学清洗工艺技术及清洗设备结构技术,包括一些典型的槽体结构、干燥工艺技术等.并就清洗技术的发展需要,阐述未来清洗设备的发展趋势.
簡要介紹瞭硅片濕化學清洗工藝技術及清洗設備結構技術,包括一些典型的槽體結構、榦燥工藝技術等.併就清洗技術的髮展需要,闡述未來清洗設備的髮展趨勢.
간요개소료규편습화학청세공예기술급청세설비결구기술,포괄일사전형적조체결구、간조공예기술등.병취청세기술적발전수요,천술미래청세설비적발전추세.
