河北大学学报（自然科学版）
河北大學學報（自然科學版）
하북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
5期
480-485
,共6页
娄建忠%李俊颖%代鹏超%孙杰%刘保亭
婁建忠%李俊穎%代鵬超%孫傑%劉保亭
루건충%리준영%대붕초%손걸%류보정
BST薄膜%溶胶凝胶%常规退火
BST薄膜%溶膠凝膠%常規退火
BST박막%용효응효%상규퇴화
利用溶胶凝胶法在Pt/TiO2/SiO2/Si (001)衬底上制备了(～70 nm)的Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST)薄膜,采用磁控溅射法构建了Pt/BST/Pt/TiO2/SiO2/Si (001)电容器,研究了在氧气气氛中不同退火温度对BST薄膜结构及物理性能的影响.结果发现,650℃退火样品具有良好的结晶质量和介电性能.650℃退火样品在电场强度为200 kV/cm时漏电流密度为3.06×10-6 A/cm2.
利用溶膠凝膠法在Pt/TiO2/SiO2/Si (001)襯底上製備瞭(～70 nm)的Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST)薄膜,採用磁控濺射法構建瞭Pt/BST/Pt/TiO2/SiO2/Si (001)電容器,研究瞭在氧氣氣氛中不同退火溫度對BST薄膜結構及物理性能的影響.結果髮現,650℃退火樣品具有良好的結晶質量和介電性能.650℃退火樣品在電場彊度為200 kV/cm時漏電流密度為3.06×10-6 A/cm2.
이용용효응효법재Pt/TiO2/SiO2/Si (001)츤저상제비료(～70 nm)적Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST)박막,채용자공천사법구건료Pt/BST/Pt/TiO2/SiO2/Si (001)전용기,연구료재양기기분중불동퇴화온도대BST박막결구급물이성능적영향.결과발현,650℃퇴화양품구유량호적결정질량화개전성능.650℃퇴화양품재전장강도위200 kV/cm시루전류밀도위3.06×10-6 A/cm2.
