武汉工程大学学报
武漢工程大學學報
무한공정대학학보
JOURNAL OF WUHAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2012年
6期
49-52
,共4页
马志斌%陶利平%翁国峰%严垒
馬誌斌%陶利平%翁國峰%嚴壘
마지빈%도리평%옹국봉%엄루
等离子体光谱%金刚石%基团%空间分布%甲烷浓度
等離子體光譜%金剛石%基糰%空間分佈%甲烷濃度
등리자체광보%금강석%기단%공간분포%갑완농도
采用等离子体光谱分析微波等离子体化学气相(MPCVD)沉积金刚石过程中基团的空间分布及甲烷浓度变化时基团浓度的变化情况.实验过程中分别测量了氢原子的Hα(656.19nm)、Hβ(486.71nm)和Hγ(434.56nm)谱线,以及基团CH(431.31nm)、C2(515.63nm)谱线.结果表明:氢原子和基团CH、C2的浓度沿等离子体柱的径向先增加再减小.随着甲烷浓度逐步增加,氢原子及基团CH、C2的浓度相应增加,其中C2基团所受影响最大.
採用等離子體光譜分析微波等離子體化學氣相(MPCVD)沉積金剛石過程中基糰的空間分佈及甲烷濃度變化時基糰濃度的變化情況.實驗過程中分彆測量瞭氫原子的Hα(656.19nm)、Hβ(486.71nm)和Hγ(434.56nm)譜線,以及基糰CH(431.31nm)、C2(515.63nm)譜線.結果錶明:氫原子和基糰CH、C2的濃度沿等離子體柱的徑嚮先增加再減小.隨著甲烷濃度逐步增加,氫原子及基糰CH、C2的濃度相應增加,其中C2基糰所受影響最大.
채용등리자체광보분석미파등리자체화학기상(MPCVD)침적금강석과정중기단적공간분포급갑완농도변화시기단농도적변화정황.실험과정중분별측량료경원자적Hα(656.19nm)、Hβ(486.71nm)화Hγ(434.56nm)보선,이급기단CH(431.31nm)、C2(515.63nm)보선.결과표명:경원자화기단CH、C2적농도연등리자체주적경향선증가재감소.수착갑완농도축보증가,경원자급기단CH、C2적농도상응증가,기중C2기단소수영향최대.
