光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
11期
2360-2364
,共5页
反应连接%碳化硅%RB-SiC反射镜%表面轮廓
反應連接%碳化硅%RB-SiC反射鏡%錶麵輪廓
반응련접%탄화규%RB-SiC반사경%표면륜곽
针对传统工艺难以制备口径大于1.2m的整块反射镜的问题,提出了反应连接制备大口径RB-SiC反射镜的工艺.该工艺在素坯阶段实现连接,一次反应烧结完成坯体的致密化和镜体的连接.采用该工艺制备了230 mm口径的RB-SiC反射镜,并使用FSGJ-2光学数控机床对反射镜进行了研磨、粗抛光和精抛光加工,其镜面面形精度RMS值达到了λ/50(λ=632.8 nm).在环境温度(20±3)℃检测了连接反射镜,其面形变化RMS值小于λ/300,热循环试验前后连接反射镜面形没有明显变化;连接镜体表面在焊缝处粗糙度Ra＜3.3 nm,连接层与基体的显微结构基本相似,热性能相匹配.研究结果表明,用新型反应连接技术制成的RB-SiC反射镜可以满足空间光学应用要求.
針對傳統工藝難以製備口徑大于1.2m的整塊反射鏡的問題,提齣瞭反應連接製備大口徑RB-SiC反射鏡的工藝.該工藝在素坯階段實現連接,一次反應燒結完成坯體的緻密化和鏡體的連接.採用該工藝製備瞭230 mm口徑的RB-SiC反射鏡,併使用FSGJ-2光學數控機床對反射鏡進行瞭研磨、粗拋光和精拋光加工,其鏡麵麵形精度RMS值達到瞭λ/50(λ=632.8 nm).在環境溫度(20±3)℃檢測瞭連接反射鏡,其麵形變化RMS值小于λ/300,熱循環試驗前後連接反射鏡麵形沒有明顯變化;連接鏡體錶麵在銲縫處粗糙度Ra＜3.3 nm,連接層與基體的顯微結構基本相似,熱性能相匹配.研究結果錶明,用新型反應連接技術製成的RB-SiC反射鏡可以滿足空間光學應用要求.
침대전통공예난이제비구경대우1.2m적정괴반사경적문제,제출료반응련접제비대구경RB-SiC반사경적공예.해공예재소배계단실현련접,일차반응소결완성배체적치밀화화경체적련접.채용해공예제비료230 mm구경적RB-SiC반사경,병사용FSGJ-2광학수공궤상대반사경진행료연마、조포광화정포광가공,기경면면형정도RMS치체도료λ/50(λ=632.8 nm).재배경온도(20±3)℃검측료련접반사경,기면형변화RMS치소우λ/300,열순배시험전후련접반사경면형몰유명현변화;련접경체표면재한봉처조조도Ra＜3.3 nm,련접층여기체적현미결구기본상사,열성능상필배.연구결과표명,용신형반응련접기술제성적RB-SiC반사경가이만족공간광학응용요구.
