微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
321-323,327
,共4页
刘大震%闫卫平%郭吉洪%杜立群
劉大震%閆衛平%郭吉洪%杜立群
류대진%염위평%곽길홍%두립군
微反应腔%湿法腐蚀%干法刻蚀%温度场分布
微反應腔%濕法腐蝕%榦法刻蝕%溫度場分佈
미반응강%습법부식%간법각식%온도장분포
在PCR生物芯片的制作过程中,微反应腔制作是关键部分之一.本文利用硅基微机械加工工艺,分别采用湿法化学腐蚀、干法等离子体刻蚀及两者相结合的方法进行了微反应腔的制作.通过扫描电镜分析,证明干法和湿法腐蚀相结合的制作工艺能加工出较理想的微反应腔体.本文还利用ANSYS软件对微反应腔进行温度分布和热特性分析.
在PCR生物芯片的製作過程中,微反應腔製作是關鍵部分之一.本文利用硅基微機械加工工藝,分彆採用濕法化學腐蝕、榦法等離子體刻蝕及兩者相結閤的方法進行瞭微反應腔的製作.通過掃描電鏡分析,證明榦法和濕法腐蝕相結閤的製作工藝能加工齣較理想的微反應腔體.本文還利用ANSYS軟件對微反應腔進行溫度分佈和熱特性分析.
재PCR생물심편적제작과정중,미반응강제작시관건부분지일.본문이용규기미궤계가공공예,분별채용습법화학부식、간법등리자체각식급량자상결합적방법진행료미반응강적제작.통과소묘전경분석,증명간법화습법부식상결합적제작공예능가공출교이상적미반응강체.본문환이용ANSYS연건대미반응강진행온도분포화열특성분석.
