长春工业大学学报(自然科学版)
長春工業大學學報(自然科學版)
장춘공업대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF JILIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2004年
1期
38-40
,共3页
压电陶瓷微位移器件%柔性铰链%精密定位
壓電陶瓷微位移器件%柔性鉸鏈%精密定位
압전도자미위이기건%유성교련%정밀정위
设计了一种压电式微位移补偿机构,采用压电陶瓷作为微位移驱动器,柔性铰链为导向机构,对传统电机驱动的丝杠螺母进给工作台运动位置进行自动补偿,实现了工作台二次精密定位,提高工作台的定位精度.设计的柔性铰链微位移放大器,可使工作台定位精度达0.01 μm,满足许多精密、超精密加工场合需要.
設計瞭一種壓電式微位移補償機構,採用壓電陶瓷作為微位移驅動器,柔性鉸鏈為導嚮機構,對傳統電機驅動的絲槓螺母進給工作檯運動位置進行自動補償,實現瞭工作檯二次精密定位,提高工作檯的定位精度.設計的柔性鉸鏈微位移放大器,可使工作檯定位精度達0.01 μm,滿足許多精密、超精密加工場閤需要.
설계료일충압전식미위이보상궤구,채용압전도자작위미위이구동기,유성교련위도향궤구,대전통전궤구동적사강라모진급공작태운동위치진행자동보상,실현료공작태이차정밀정위,제고공작태적정위정도.설계적유성교련미위이방대기,가사공작태정위정도체0.01 μm,만족허다정밀、초정밀가공장합수요.
