传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
2018-2021
,共4页
王蔚%田丽%鲍志勇%刘晓为%王喜莲%杨松涛
王蔚%田麗%鮑誌勇%劉曉為%王喜蓮%楊鬆濤
왕위%전려%포지용%류효위%왕희련%양송도
MEMS%双向微泵%压电驱动%性能分析
MEMS%雙嚮微泵%壓電驅動%性能分析
MEMS%쌍향미빙%압전구동%성능분석
采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3 mm3,泵腔体体积约10 mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工作电压为110 V、频率为40 Hz时,微泵的正向最大泵压为120 mm水柱,频率为50-90 Hz时,最大流量70μl/min;当频率为35 Hz时,微泵的反向最大泵压为70 mm水柱,最大流量56μl/min.
採用氧化、光刻、腐蝕、鍵閤等MEMS技術,研製瞭一種硅基壓電式雙嚮無閥微泵,泵的外形呎吋為30×14×3 mm3,泵腔體體積約10 mm3.通過大量試驗測試,得到瞭泵壓、流量與工作頻率、波形、電壓幅值之間的關繫.噹工作電壓為110 V、頻率為40 Hz時,微泵的正嚮最大泵壓為120 mm水柱,頻率為50-90 Hz時,最大流量70μl/min;噹頻率為35 Hz時,微泵的反嚮最大泵壓為70 mm水柱,最大流量56μl/min.
채용양화、광각、부식、건합등MEMS기술,연제료일충규기압전식쌍향무벌미빙,빙적외형척촌위30×14×3 mm3,빙강체체적약10 mm3.통과대량시험측시,득도료빙압、류량여공작빈솔、파형、전압폭치지간적관계.당공작전압위110 V、빈솔위40 Hz시,미빙적정향최대빙압위120 mm수주,빈솔위50-90 Hz시,최대류량70μl/min;당빈솔위35 Hz시,미빙적반향최대빙압위70 mm수주,최대류량56μl/min.
