功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
5期
779-782
,共4页
邓荣斌%王茺%陈寒娴%杨瑞东%秦芳%肖军%杨宇
鄧榮斌%王茺%陳寒嫻%楊瑞東%秦芳%肖軍%楊宇
산영빈%왕충%진한한%양서동%진방%초군%양우
退火%微晶硅薄膜%钽%太阳能电池
退火%微晶硅薄膜%鐽%太暘能電池
퇴화%미정규박막%단%태양능전지
对射频溅射功率80W条件下Ta缓冲层上生长的硅薄膜进行退火并用Raman散射和X射线衍射技术对样品的微观结构进行检测,系统研究了退火温度和退火时间对硅薄膜结晶性的影响.分析结果表明,在560℃退火2h或680℃退火1h之后,硅薄膜开始晶化,并且随着退火温度的增加或退火时间延长,薄膜逐渐由非晶向微晶转变.获得了可用于太阳能电池的微晶硅薄膜的最佳晶化参数.
對射頻濺射功率80W條件下Ta緩遲層上生長的硅薄膜進行退火併用Raman散射和X射線衍射技術對樣品的微觀結構進行檢測,繫統研究瞭退火溫度和退火時間對硅薄膜結晶性的影響.分析結果錶明,在560℃退火2h或680℃退火1h之後,硅薄膜開始晶化,併且隨著退火溫度的增加或退火時間延長,薄膜逐漸由非晶嚮微晶轉變.穫得瞭可用于太暘能電池的微晶硅薄膜的最佳晶化參數.
대사빈천사공솔80W조건하Ta완충층상생장적규박막진행퇴화병용Raman산사화X사선연사기술대양품적미관결구진행검측,계통연구료퇴화온도화퇴화시간대규박막결정성적영향.분석결과표명,재560℃퇴화2h혹680℃퇴화1h지후,규박막개시정화,병차수착퇴화온도적증가혹퇴화시간연장,박막축점유비정향미정전변.획득료가용우태양능전지적미정규박막적최가정화삼수.
