黑龙江大学自然科学学报
黑龍江大學自然科學學報
흑룡강대학자연과학학보
JOURNAL OF NATURAL SCIENCE OF HEILONGJIANG UNIVERSITY
2009年
2期
251-254
,共4页
193 nm光致抗蚀剂%阻溶剂%成像性质%热稳定性
193 nm光緻抗蝕劑%阻溶劑%成像性質%熱穩定性
193 nm광치항식제%조용제%성상성질%열은정성
以松香酸为主原料合成了适用于193 nm光致抗蚀剂的新型阻溶促溶剂,并对其热稳定性、成像性质等进行了研究.结果表明:新型阻溶剂不仅具有良好的热稳定性和阻溶促溶作用,而且在193 nm具有良好的透明性,可以应用于193 nm光刻胶工艺.
以鬆香痠為主原料閤成瞭適用于193 nm光緻抗蝕劑的新型阻溶促溶劑,併對其熱穩定性、成像性質等進行瞭研究.結果錶明:新型阻溶劑不僅具有良好的熱穩定性和阻溶促溶作用,而且在193 nm具有良好的透明性,可以應用于193 nm光刻膠工藝.
이송향산위주원료합성료괄용우193 nm광치항식제적신형조용촉용제,병대기열은정성、성상성질등진행료연구.결과표명:신형조용제불부구유량호적열은정성화조용촉용작용,이차재193 nm구유량호적투명성,가이응용우193 nm광각효공예.
