人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2009年
4期
870-875
,共6页
Ag掺杂%ZnO薄膜%脉冲激光沉积%荧光特性
Ag摻雜%ZnO薄膜%脈遲激光沉積%熒光特性
Ag참잡%ZnO박막%맥충격광침적%형광특성
采用脉冲激光沉积技术制备出了Ag掺杂的ZnO薄膜.研究了Ag含量、衬底温度及氧压对ZnO结构和光学性能的影响.结果表明:Ag以替位形式存在于ZnO晶格中,Ag掺杂浓度较低时,样品具有高度c轴择优取向.衬底温度越高,薄膜的结晶质量越好,光学带隙越接近纯ZnO的带隙,而其紫外荧光峰在衬底温度为300 ℃时最强.氧压为10 Pa时,薄膜的结晶质量最好,紫外峰最强,其带隙则随氧压的增大呈先变窄后加宽的趋势.
採用脈遲激光沉積技術製備齣瞭Ag摻雜的ZnO薄膜.研究瞭Ag含量、襯底溫度及氧壓對ZnO結構和光學性能的影響.結果錶明:Ag以替位形式存在于ZnO晶格中,Ag摻雜濃度較低時,樣品具有高度c軸擇優取嚮.襯底溫度越高,薄膜的結晶質量越好,光學帶隙越接近純ZnO的帶隙,而其紫外熒光峰在襯底溫度為300 ℃時最彊.氧壓為10 Pa時,薄膜的結晶質量最好,紫外峰最彊,其帶隙則隨氧壓的增大呈先變窄後加寬的趨勢.
채용맥충격광침적기술제비출료Ag참잡적ZnO박막.연구료Ag함량、츤저온도급양압대ZnO결구화광학성능적영향.결과표명:Ag이체위형식존재우ZnO정격중,Ag참잡농도교저시,양품구유고도c축택우취향.츤저온도월고,박막적결정질량월호,광학대극월접근순ZnO적대극,이기자외형광봉재츤저온도위300 ℃시최강.양압위10 Pa시,박막적결정질량최호,자외봉최강,기대극칙수양압적증대정선변착후가관적추세.
