激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2011年
4期
535-538
,共4页
雷洁红%段涛%闫正洲%邢丕峰
雷潔紅%段濤%閆正洲%邢丕峰
뢰길홍%단도%염정주%형비봉
薄膜%沉积条件%沉积速率%表面形貌%脉冲激光沉积
薄膜%沉積條件%沉積速率%錶麵形貌%脈遲激光沉積
박막%침적조건%침적속솔%표면형모%맥충격광침적
为了研究沉积条件对氢化锂薄膜沉积速率和表面形貌的影响,采用脉冲激光沉积方法在Si(100)基片上沉积了氢化锂薄膜.通过改变靶基距和氢压等手段来控制薄膜的沉积速率,得到了氢压与沉积速率和薄膜表面质量的关系.结果表明,随着氢压和靶基距的增加,氢化锂薄膜的沉积速率逐渐下降;适当增加氢压可以降低氢化锂薄膜的表面粗糙度.从薄膜生长机理出发,探讨了表面粗糙度与氢压的关系,发现理论与实验值的拟合结果非常接近.
為瞭研究沉積條件對氫化鋰薄膜沉積速率和錶麵形貌的影響,採用脈遲激光沉積方法在Si(100)基片上沉積瞭氫化鋰薄膜.通過改變靶基距和氫壓等手段來控製薄膜的沉積速率,得到瞭氫壓與沉積速率和薄膜錶麵質量的關繫.結果錶明,隨著氫壓和靶基距的增加,氫化鋰薄膜的沉積速率逐漸下降;適噹增加氫壓可以降低氫化鋰薄膜的錶麵粗糙度.從薄膜生長機理齣髮,探討瞭錶麵粗糙度與氫壓的關繫,髮現理論與實驗值的擬閤結果非常接近.
위료연구침적조건대경화리박막침적속솔화표면형모적영향,채용맥충격광침적방법재Si(100)기편상침적료경화리박막.통과개변파기거화경압등수단래공제박막적침적속솔,득도료경압여침적속솔화박막표면질량적관계.결과표명,수착경압화파기거적증가,경화리박막적침적속솔축점하강;괄당증가경압가이강저경화리박막적표면조조도.종박막생장궤리출발,탐토료표면조조도여경압적관계,발현이론여실험치적의합결과비상접근.
