热加工工艺
熱加工工藝
열가공공예
HOT WORKING TECHNOLOGY
2011年
8期
138-140
,共3页
掺杂浓度%溶胶-凝胶法%ZnO薄膜%薄膜结构%光学性能
摻雜濃度%溶膠-凝膠法%ZnO薄膜%薄膜結構%光學性能
참잡농도%용효-응효법%ZnO박막%박막결구%광학성능
在玻璃衬底上,采用溶胶-凝胶法制备Na、Mg共掺杂的ZnO薄膜,Mg含量不变,改变Na的掺杂含量,研究掺杂浓度、退火温度及镀膜层数对薄膜结构和光学性能的影响.结果表明:薄膜形貌在550℃退火时较好;Na离子含量会影响薄膜(002)晶面的生长;镀膜层数增加,薄膜有明显红移现象并且透光率会降低.
在玻璃襯底上,採用溶膠-凝膠法製備Na、Mg共摻雜的ZnO薄膜,Mg含量不變,改變Na的摻雜含量,研究摻雜濃度、退火溫度及鍍膜層數對薄膜結構和光學性能的影響.結果錶明:薄膜形貌在550℃退火時較好;Na離子含量會影響薄膜(002)晶麵的生長;鍍膜層數增加,薄膜有明顯紅移現象併且透光率會降低.
재파리츤저상,채용용효-응효법제비Na、Mg공참잡적ZnO박막,Mg함량불변,개변Na적참잡함량,연구참잡농도、퇴화온도급도막층수대박막결구화광학성능적영향.결과표명:박막형모재550℃퇴화시교호;Na리자함량회영향박막(002)정면적생장;도막층수증가,박막유명현홍이현상병차투광솔회강저.