国外耐火材料
國外耐火材料
국외내화재료
FOREIGN REFRACTORIES
2005年
3期
39-41
,共3页
高纯度SiC制品%超高纯度SiC单晶%新型粉体制造方法%新型烧结体制造方法%应用
高純度SiC製品%超高純度SiC單晶%新型粉體製造方法%新型燒結體製造方法%應用
고순도SiC제품%초고순도SiC단정%신형분체제조방법%신형소결체제조방법%응용
本文主要概述了高纯度SiC粉体、烧结体的制造方法及其制品,同时也涉及到了超高纯度SiC单晶的制造和应用.SiC材料纯度不仅与电、电子的特性密切相关,而且与机械、热、光学的特性密切相关,所以利用其优异的耐热性、强度、硬度、耐磨损性、抗化学药剂性、体积电阻系数等特性,对工业的发展起到了巨大作用,特别是在半导体产业方面,迅速扩大了使用SiC基板的产品市场.
本文主要概述瞭高純度SiC粉體、燒結體的製造方法及其製品,同時也涉及到瞭超高純度SiC單晶的製造和應用.SiC材料純度不僅與電、電子的特性密切相關,而且與機械、熱、光學的特性密切相關,所以利用其優異的耐熱性、彊度、硬度、耐磨損性、抗化學藥劑性、體積電阻繫數等特性,對工業的髮展起到瞭巨大作用,特彆是在半導體產業方麵,迅速擴大瞭使用SiC基闆的產品市場.
본문주요개술료고순도SiC분체、소결체적제조방법급기제품,동시야섭급도료초고순도SiC단정적제조화응용.SiC재료순도불부여전、전자적특성밀절상관,이차여궤계、열、광학적특성밀절상관,소이이용기우이적내열성、강도、경도、내마손성、항화학약제성、체적전조계수등특성,대공업적발전기도료거대작용,특별시재반도체산업방면,신속확대료사용SiC기판적산품시장.
