半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
5期
701-704
,共4页
吴春霞%吕有明%申德振%范希武%周明%蔡兰
吳春霞%呂有明%申德振%範希武%週明%蔡蘭
오춘하%려유명%신덕진%범희무%주명%채란
等离子辅助分子束外延%MgxZn1-xO合金%光致发光谱%相分离
等離子輔助分子束外延%MgxZn1-xO閤金%光緻髮光譜%相分離
등리자보조분자속외연%MgxZn1-xO합금%광치발광보%상분리
利用等离子辅助分子束外延(P-MBE)技术,在蓝宝石c-平面上外延生长了MgxZn1-xO(0≤x≤0.65)合金薄膜,其x值分别为0,0.11,0.28,0.44,0.51和0.65.X射线衍射测量表明,随着x增加到0.28,只在2θ为34.46～34.67°的位置观察到(002)衍射峰,表明样品为单一六角纤锌矿结构的MgZnO合金.当x值增加到0.44时,观察到了MgxZn1-xO的相分离.当x值增加到0.65时,MgZnO合金完成了从单一六角纤锌矿结构向立方向结构的转变.通过对样品的光致发光谱、吸收谱的测量,详细研究了上述样品的相结构转变对其光学性质的影响.
利用等離子輔助分子束外延(P-MBE)技術,在藍寶石c-平麵上外延生長瞭MgxZn1-xO(0≤x≤0.65)閤金薄膜,其x值分彆為0,0.11,0.28,0.44,0.51和0.65.X射線衍射測量錶明,隨著x增加到0.28,隻在2θ為34.46～34.67°的位置觀察到(002)衍射峰,錶明樣品為單一六角纖鋅礦結構的MgZnO閤金.噹x值增加到0.44時,觀察到瞭MgxZn1-xO的相分離.噹x值增加到0.65時,MgZnO閤金完成瞭從單一六角纖鋅礦結構嚮立方嚮結構的轉變.通過對樣品的光緻髮光譜、吸收譜的測量,詳細研究瞭上述樣品的相結構轉變對其光學性質的影響.
이용등리자보조분자속외연(P-MBE)기술,재람보석c-평면상외연생장료MgxZn1-xO(0≤x≤0.65)합금박막,기x치분별위0,0.11,0.28,0.44,0.51화0.65.X사선연사측량표명,수착x증가도0.28,지재2θ위34.46～34.67°적위치관찰도(002)연사봉,표명양품위단일륙각섬자광결구적MgZnO합금.당x치증가도0.44시,관찰도료MgxZn1-xO적상분리.당x치증가도0.65시,MgZnO합금완성료종단일륙각섬자광결구향립방향결구적전변.통과대양품적광치발광보、흡수보적측량,상세연구료상술양품적상결구전변대기광학성질적영향.
