传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
3期
439-442
,共4页
微机械陀螺仪%隧道效应%DDSOG工艺%硅尖
微機械陀螺儀%隧道效應%DDSOG工藝%硅尖
미궤계타라의%수도효응%DDSOG공예%규첨
振动梁式微机械隧道陀螺仪是一种以悬臂梁作为换能构件,以电子隧道效应为输出敏感方式的高精度和高灵敏的角振动传感器,解决了传统机械陀螺仪因尺寸减小而导致的灵敏度降低的缺点.结合微机械隧道陀螺仪的尺寸特点:硅尖与下电极的距离为1μm,齿厚和齿间距之间的距离为4μm,梁的厚度为50 μm,提出硅正面刻蚀-玻璃上电极制作-硅玻键合-硅背面减薄-硅背面刻蚀的DDSOG(Deep Dry Silicon On Glass)工艺方案,成功实现了整个器件的工艺制备.本文就DDSOG工艺中的关键工艺进行了一一论述,该工艺不仅能用于隧道陀螺仪的制备,同时也可以制作其它高深宽比传感器或执行器.
振動樑式微機械隧道陀螺儀是一種以懸臂樑作為換能構件,以電子隧道效應為輸齣敏感方式的高精度和高靈敏的角振動傳感器,解決瞭傳統機械陀螺儀因呎吋減小而導緻的靈敏度降低的缺點.結閤微機械隧道陀螺儀的呎吋特點:硅尖與下電極的距離為1μm,齒厚和齒間距之間的距離為4μm,樑的厚度為50 μm,提齣硅正麵刻蝕-玻璃上電極製作-硅玻鍵閤-硅揹麵減薄-硅揹麵刻蝕的DDSOG(Deep Dry Silicon On Glass)工藝方案,成功實現瞭整箇器件的工藝製備.本文就DDSOG工藝中的關鍵工藝進行瞭一一論述,該工藝不僅能用于隧道陀螺儀的製備,同時也可以製作其它高深寬比傳感器或執行器.
진동량식미궤계수도타라의시일충이현비량작위환능구건,이전자수도효응위수출민감방식적고정도화고령민적각진동전감기,해결료전통궤계타라의인척촌감소이도치적령민도강저적결점.결합미궤계수도타라의적척촌특점:규첨여하전겁적거리위1μm,치후화치간거지간적거리위4μm,량적후도위50 μm,제출규정면각식-파리상전겁제작-규파건합-규배면감박-규배면각식적DDSOG(Deep Dry Silicon On Glass)공예방안,성공실현료정개기건적공예제비.본문취DDSOG공예중적관건공예진행료일일논술,해공예불부능용우수도타라의적제비,동시야가이제작기타고심관비전감기혹집행기.
