传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
4期
664-666
,共3页
微加速度开关%非接触式%低驱动电压%力电耦合分析
微加速度開關%非接觸式%低驅動電壓%力電耦閤分析
미가속도개관%비접촉식%저구동전압%력전우합분석
典型的微加速度开关至少包含一个电接触,当阈值加速度值达到时,该开关将闭合.一般为金属接触,比如金.但金属接触可能存在许多问题,如微焊接、电弧、氧化,这些问题可能导致开关工作失灵.鉴于此,本文介绍了一种低驱动电压的非接触式微加速度开关(阈值为5 gn)的设计理论、研究方法和主要加工工艺步骤,同时对非接触式微加速度开关结构的力电耦合进行理论计算,结合ANSYS软件仿真分析验证.
典型的微加速度開關至少包含一箇電接觸,噹閾值加速度值達到時,該開關將閉閤.一般為金屬接觸,比如金.但金屬接觸可能存在許多問題,如微銲接、電弧、氧化,這些問題可能導緻開關工作失靈.鑒于此,本文介紹瞭一種低驅動電壓的非接觸式微加速度開關(閾值為5 gn)的設計理論、研究方法和主要加工工藝步驟,同時對非接觸式微加速度開關結構的力電耦閤進行理論計算,結閤ANSYS軟件倣真分析驗證.
전형적미가속도개관지소포함일개전접촉,당역치가속도치체도시,해개관장폐합.일반위금속접촉,비여금.단금속접촉가능존재허다문제,여미한접、전호、양화,저사문제가능도치개관공작실령.감우차,본문개소료일충저구동전압적비접촉식미가속도개관(역치위5 gn)적설계이론、연구방법화주요가공공예보취,동시대비접촉식미가속도개관결구적력전우합진행이론계산,결합ANSYS연건방진분석험증.