传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
6期
1020-1024
,共5页
刘蕾%郭兴龙%欧阳炜霞%赖宗声
劉蕾%郭興龍%歐暘煒霞%賴宗聲
류뢰%곽흥룡%구양위하%뢰종성
微机械系统(MEMS)%可调滤波器%共平面波导(CPW)结构%多触点MEMS开关
微機械繫統(MEMS)%可調濾波器%共平麵波導(CPW)結構%多觸點MEMS開關
미궤계계통(MEMS)%가조려파기%공평면파도(CPW)결구%다촉점MEMS개관
介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点.滤波器截止频率的大小取决于MEMS开关的状态.实验结果表明,当MEMS开关受到激励时,低通滤波器的3-dB截止频率从12.5GHz转换至6.1GHz,带内纹波小于0.5dB,带外抑制大于40dB,开关的驱动电压在25V左右.
介紹瞭一種使用多觸點MEMS開關實現的新型可調微波MEMS低通濾波器,應用MEMS製作工藝在石英襯底上實現濾波器結構.濾波器基于慢波共平麵波導週期性結構,具有呎吋小、插損低、可與單片微波集成電路工藝兼容等優點.濾波器截止頻率的大小取決于MEMS開關的狀態.實驗結果錶明,噹MEMS開關受到激勵時,低通濾波器的3-dB截止頻率從12.5GHz轉換至6.1GHz,帶內紋波小于0.5dB,帶外抑製大于40dB,開關的驅動電壓在25V左右.
개소료일충사용다촉점MEMS개관실현적신형가조미파MEMS저통려파기,응용MEMS제작공예재석영츤저상실현려파기결구.려파기기우만파공평면파도주기성결구,구유척촌소、삽손저、가여단편미파집성전로공예겸용등우점.려파기절지빈솔적대소취결우MEMS개관적상태.실험결과표명,당MEMS개관수도격려시,저통려파기적3-dB절지빈솔종12.5GHz전환지6.1GHz,대내문파소우0.5dB,대외억제대우40dB,개관적구동전압재25V좌우.
