传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2009年
2期
199-202
,共4页
宫铭举%邓越%马军%汤亮%乔东海%何庆%王孟姣
宮銘舉%鄧越%馬軍%湯亮%喬東海%何慶%王孟姣
궁명거%산월%마군%탕량%교동해%하경%왕맹교
低频%电容式%圆形硅振动膜%高灵敏度%通频带
低頻%電容式%圓形硅振動膜%高靈敏度%通頻帶
저빈%전용식%원형규진동막%고령민도%통빈대
在电容式传声器相关理论以及方形膜研究的基础上,采用圆形硅膜作为振动膜,研制了电容式低频传声器,该传声器直接采用音频传声器结构,不同于以往的电容式低频传声器结构.首先进行了等效结构参数的仿真,为实验提供了理论支持;然后,制备了直径为0.08 m,厚度约60μm的圆形硅膜,并以此硅膜为振动膜研发了一种高灵敏度的低频传声器,其中,两极板间的气隙厚度约为100 μm.测试表明,当偏置电压为4.5 V时,该传声器具有较高的灵敏度,100 Hz处的灵敏度约为-27dB,通频带(20～300 Hz)平坦,低频响应部分(0～20 Hz)需要改进方法进一步测试.
在電容式傳聲器相關理論以及方形膜研究的基礎上,採用圓形硅膜作為振動膜,研製瞭電容式低頻傳聲器,該傳聲器直接採用音頻傳聲器結構,不同于以往的電容式低頻傳聲器結構.首先進行瞭等效結構參數的倣真,為實驗提供瞭理論支持;然後,製備瞭直徑為0.08 m,厚度約60μm的圓形硅膜,併以此硅膜為振動膜研髮瞭一種高靈敏度的低頻傳聲器,其中,兩極闆間的氣隙厚度約為100 μm.測試錶明,噹偏置電壓為4.5 V時,該傳聲器具有較高的靈敏度,100 Hz處的靈敏度約為-27dB,通頻帶(20～300 Hz)平坦,低頻響應部分(0～20 Hz)需要改進方法進一步測試.
재전용식전성기상관이론이급방형막연구적기출상,채용원형규막작위진동막,연제료전용식저빈전성기,해전성기직접채용음빈전성기결구,불동우이왕적전용식저빈전성기결구.수선진행료등효결구삼수적방진,위실험제공료이론지지;연후,제비료직경위0.08 m,후도약60μm적원형규막,병이차규막위진동막연발료일충고령민도적저빈전성기,기중,량겁판간적기극후도약위100 μm.측시표명,당편치전압위4.5 V시,해전성기구유교고적령민도,100 Hz처적령민도약위-27dB,통빈대(20～300 Hz)평탄,저빈향응부분(0～20 Hz)수요개진방법진일보측시.
