真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
2期
116-121
,共6页
仲雪飞%张雄%尹涵春%雷威%王保平
仲雪飛%張雄%尹涵春%雷威%王保平
중설비%장웅%윤함춘%뢰위%왕보평
电子技术%场发射显示%模拟计算%后栅极结构
電子技術%場髮射顯示%模擬計算%後柵極結構
전자기술%장발사현시%모의계산%후책겁결구
Electric technology%Field emission display%Simulation%Under-gate structure
后栅极场发射显示板是一种常用的场致发射器件.该器件结构由阳极、阴极和栅极组成,并且栅极置于阴极背面.本文采用模拟计算的方法研究了标准结构场发射区域内的电场分布、阴极表面的发射情况、电子轨迹和着屏束斑.并研究了关键结构参数在公差范围内变化对阴极发射特性和阳极着屏束斑的影响.计算结果显示结构参数在公差范围内的变化对阴极发射状况,阳极束斑栅极调制特性的影响很小,进而证明了后栅极结构对工艺一致性要求较低.
後柵極場髮射顯示闆是一種常用的場緻髮射器件.該器件結構由暘極、陰極和柵極組成,併且柵極置于陰極揹麵.本文採用模擬計算的方法研究瞭標準結構場髮射區域內的電場分佈、陰極錶麵的髮射情況、電子軌跡和著屏束斑.併研究瞭關鍵結構參數在公差範圍內變化對陰極髮射特性和暘極著屏束斑的影響.計算結果顯示結構參數在公差範圍內的變化對陰極髮射狀況,暘極束斑柵極調製特性的影響很小,進而證明瞭後柵極結構對工藝一緻性要求較低.
후책겁장발사현시판시일충상용적장치발사기건.해기건결구유양겁、음겁화책겁조성,병차책겁치우음겁배면.본문채용모의계산적방법연구료표준결구장발사구역내적전장분포、음겁표면적발사정황、전자궤적화착병속반.병연구료관건결구삼수재공차범위내변화대음겁발사특성화양겁착병속반적영향.계산결과현시결구삼수재공차범위내적변화대음겁발사상황,양겁속반책겁조제특성적영향흔소,진이증명료후책겁결구대공예일치성요구교저.
The impacts of the variations in the structures of the anode,cathode,and gate of the under-gate field emission display panel within the tolerance,on the field emission characteristics were simulated.The physical quantities,such as the electric field distribution inside the emission region,field emission characteristics of the cathode,the electron trajectories and spot on the anode in the conventional stucture,were evaluated.The simulated results show that the structural variations within the technical tolerance influence the field emission characteristics spot on the anode and modulation performance of gate little.In addition,the under-gate structure requires rather mild fabrication precision.