传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
3期
101-104
,共4页
无阀微泵%低成本%聚二甲基硅氧烷薄膜%扩张/收缩管%湿法刻蚀
無閥微泵%低成本%聚二甲基硅氧烷薄膜%擴張/收縮管%濕法刻蝕
무벌미빙%저성본%취이갑기규양완박막%확장/수축관%습법각식
提出了一种低成本的由压电材料驱动的平面扩张/收缩管无阀微泵的制作工艺.通过数值模拟确定了扩张/收缩管扩张角的最优值,在此基础上,采用光刻和湿法刻蚀工艺,刻蚀了300μm深的泵腔基片和100 μm深的盖片;使用等离子体清洗技术将其与PDMS薄膜键合,完成了可以实现单向泵送的压电无阀微泵样机制作.研究了该压电无阀微泵样机的性能,分别分析了压电振子的激励频率、电压和微泵背压对其流量的影响.实验结果表明:在100V,110Hz交流方波电压信号的作用下,微泵有最大输出流量为436μL/min,最大背压为620 Pa.
提齣瞭一種低成本的由壓電材料驅動的平麵擴張/收縮管無閥微泵的製作工藝.通過數值模擬確定瞭擴張/收縮管擴張角的最優值,在此基礎上,採用光刻和濕法刻蝕工藝,刻蝕瞭300μm深的泵腔基片和100 μm深的蓋片;使用等離子體清洗技術將其與PDMS薄膜鍵閤,完成瞭可以實現單嚮泵送的壓電無閥微泵樣機製作.研究瞭該壓電無閥微泵樣機的性能,分彆分析瞭壓電振子的激勵頻率、電壓和微泵揹壓對其流量的影響.實驗結果錶明:在100V,110Hz交流方波電壓信號的作用下,微泵有最大輸齣流量為436μL/min,最大揹壓為620 Pa.
제출료일충저성본적유압전재료구동적평면확장/수축관무벌미빙적제작공예.통과수치모의학정료확장/수축관확장각적최우치,재차기출상,채용광각화습법각식공예,각식료300μm심적빙강기편화100 μm심적개편;사용등리자체청세기술장기여PDMS박막건합,완성료가이실현단향빙송적압전무벌미빙양궤제작.연구료해압전무벌미빙양궤적성능,분별분석료압전진자적격려빈솔、전압화미빙배압대기류량적영향.실험결과표명:재100V,110Hz교류방파전압신호적작용하,미빙유최대수출류량위436μL/min,최대배압위620 Pa.
