新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2011年
4期
74-76
,共3页
ITO薄膜%溶胶-凝胶法%光电特性
ITO薄膜%溶膠-凝膠法%光電特性
ITO박막%용효-응효법%광전특성
采用溶胶-凝胶方法以In(NO3)3.4.5H2O和SnCl4.5H2O为前驱物,用提拉法在石英玻璃基体上制备了ITO透明导电薄膜.详细研究了不同掺Sn比例、不同金属离子浓度、不同提拉速度、不同烘烤温度对ITO薄膜光电特性的影响.结果表明,提拉法制备的薄膜在热处理过程中由凝胶状态向结晶态逐渐转变,方电阻随热处理温度的升高而降低;导电率随薄膜厚度的增加呈非线性增加.
採用溶膠-凝膠方法以In(NO3)3.4.5H2O和SnCl4.5H2O為前驅物,用提拉法在石英玻璃基體上製備瞭ITO透明導電薄膜.詳細研究瞭不同摻Sn比例、不同金屬離子濃度、不同提拉速度、不同烘烤溫度對ITO薄膜光電特性的影響.結果錶明,提拉法製備的薄膜在熱處理過程中由凝膠狀態嚮結晶態逐漸轉變,方電阻隨熱處理溫度的升高而降低;導電率隨薄膜厚度的增加呈非線性增加.
채용용효-응효방법이In(NO3)3.4.5H2O화SnCl4.5H2O위전구물,용제랍법재석영파리기체상제비료ITO투명도전박막.상세연구료불동참Sn비례、불동금속리자농도、불동제랍속도、불동홍고온도대ITO박막광전특성적영향.결과표명,제랍법제비적박막재열처리과정중유응효상태향결정태축점전변,방전조수열처리온도적승고이강저;도전솔수박막후도적증가정비선성증가.
