真空
真空
진공
VACUUM
2011年
4期
40-42
,共3页
李明%陈永彦%类成华%杨雷岗
李明%陳永彥%類成華%楊雷崗
리명%진영언%류성화%양뢰강
真空测量%电感耦合等离子体质谱仪%C8051F微控制器%实时测量
真空測量%電感耦閤等離子體質譜儀%C8051F微控製器%實時測量
진공측량%전감우합등리자체질보의%C8051F미공제기%실시측량
本文介绍了一种基于C8051F微控制器并应用于电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)的真空测量系统.系统由真空计组、预处理电路、C8051F微控制器、串行接口和上位机组成,能同时测量接口、透镜和四级杆三个部分的真空状态,且具有较高的集成度,紧凑的体积和较低的功耗,经最后实验证实,系统能准确且稳定的测量各个部分的真空度,可为ICP-MS的正常工作提供相应的条件保障.
本文介紹瞭一種基于C8051F微控製器併應用于電感耦閤等離子體質譜儀(ICP-MS)的真空測量繫統.繫統由真空計組、預處理電路、C8051F微控製器、串行接口和上位機組成,能同時測量接口、透鏡和四級桿三箇部分的真空狀態,且具有較高的集成度,緊湊的體積和較低的功耗,經最後實驗證實,繫統能準確且穩定的測量各箇部分的真空度,可為ICP-MS的正常工作提供相應的條件保障.
본문개소료일충기우C8051F미공제기병응용우전감우합등리자체질보의(ICP-MS)적진공측량계통.계통유진공계조、예처리전로、C8051F미공제기、천행접구화상위궤조성,능동시측량접구、투경화사급간삼개부분적진공상태,차구유교고적집성도,긴주적체적화교저적공모,경최후실험증실,계통능준학차은정적측량각개부분적진공도,가위ICP-MS적정상공작제공상응적조건보장.
