人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
6期
1387-1393
,共7页
方茹%沈鸿烈%吴天如%刘斌%沈剑沧
方茹%瀋鴻烈%吳天如%劉斌%瀋劍滄
방여%침홍렬%오천여%류빈%침검창
大晶粒%多晶硅薄膜%铝诱导%纳米硅
大晶粒%多晶硅薄膜%鋁誘導%納米硅
대정립%다정규박막%려유도%납미규
本文以超白玻璃为衬底,利用热丝化学气相沉积和磁控溅射法制备了Glass/nc-Si/Al的叠层结构,然后置于管式退火炉中在H2气氛下进行5h诱导晶化,用XRD、光学显微镜、扫描电镜和拉曼光谱对样品进行了表征.结果表明所有样品都是有(111)择优取向的多晶硅薄膜,在425℃诱导时,多晶硅晶粒尺寸最大达400 μm,但薄膜不连续；随着诱导温度升高到450℃,样品表面已形成了连续的多晶硅薄膜,但晶粒尺寸有所减小；475℃下诱导获得的最大晶粒尺寸约为200μm,此时多晶硅薄膜的结晶质量更好.还从动力学的角度分析了铝诱导纳米硅的晶化机理.
本文以超白玻璃為襯底,利用熱絲化學氣相沉積和磁控濺射法製備瞭Glass/nc-Si/Al的疊層結構,然後置于管式退火爐中在H2氣氛下進行5h誘導晶化,用XRD、光學顯微鏡、掃描電鏡和拉曼光譜對樣品進行瞭錶徵.結果錶明所有樣品都是有(111)擇優取嚮的多晶硅薄膜,在425℃誘導時,多晶硅晶粒呎吋最大達400 μm,但薄膜不連續；隨著誘導溫度升高到450℃,樣品錶麵已形成瞭連續的多晶硅薄膜,但晶粒呎吋有所減小；475℃下誘導穫得的最大晶粒呎吋約為200μm,此時多晶硅薄膜的結晶質量更好.還從動力學的角度分析瞭鋁誘導納米硅的晶化機理.
본문이초백파리위츤저,이용열사화학기상침적화자공천사법제비료Glass/nc-Si/Al적첩층결구,연후치우관식퇴화로중재H2기분하진행5h유도정화,용XRD、광학현미경、소묘전경화랍만광보대양품진행료표정.결과표명소유양품도시유(111)택우취향적다정규박막,재425℃유도시,다정규정립척촌최대체400 μm,단박막불련속；수착유도온도승고도450℃,양품표면이형성료련속적다정규박막,단정립척촌유소감소；475℃하유도획득적최대정립척촌약위200μm,차시다정규박막적결정질량경호.환종동역학적각도분석료려유도납미규적정화궤리.
