稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2006年
11期
1800-1802
,共3页
袁振宇%徐东%刘毓舒%蔡炳初
袁振宇%徐東%劉毓舒%蔡炳初
원진우%서동%류육서%채병초
NiTi形状记忆合金薄膜%原位加热%织构%微驱动器
NiTi形狀記憶閤金薄膜%原位加熱%織構%微驅動器
NiTi형상기억합금박막%원위가열%직구%미구동기
研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构,讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响,采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的结构及相变过程,确定了最适合于微器件的溅射工艺.结果发现:溅射时采用原位加热可直接获得具有织构的晶化薄膜,提高溅射功率将使薄膜的相变温度升高.
研究瞭原位加熱濺射的NiTi形狀記憶閤金薄膜的結構,討論瞭製備工藝及織構對薄膜相變特徵的影響,採用電阻法及X射線衍射分析瞭薄膜的結構及相變過程,確定瞭最適閤于微器件的濺射工藝.結果髮現:濺射時採用原位加熱可直接穫得具有織構的晶化薄膜,提高濺射功率將使薄膜的相變溫度升高.
연구료원위가열천사적NiTi형상기억합금박막적결구,토론료제비공예급직구대박막상변특정적영향,채용전조법급X사선연사분석료박막적결구급상변과정,학정료최괄합우미기건적천사공예.결과발현:천사시채용원위가열가직접획득구유직구적정화박막,제고천사공솔장사박막적상변온도승고.
