纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2012年
4期
365-368
,共4页
舒谊%周林%解旭辉%廖文林%李圣怡
舒誼%週林%解旭輝%廖文林%李聖怡
서의%주림%해욱휘%료문림%리골이
离子束抛光%倾斜入射%熔石英%表面粗糙度%超光滑表面
離子束拋光%傾斜入射%鎔石英%錶麵粗糙度%超光滑錶麵
리자속포광%경사입사%용석영%표면조조도%초광활표면
基于光学元件离子束高精度确定性抛光技术,在自行研制的离子束抛光机床上,本文研究了离子束倾斜入射抛光对光学材料熔石英表面粗糙度的影响.为了在离子束抛光中改善表面粗糙度,采用了0°～80°之间不同入射角度的离子束倾斜抛光和倾斜45°入射均匀去除两种实验方案进行研究,其中不同入射角度抛光实验研究结果表明:离子束垂直入射抛光较难改善表面粗糙度,倾斜入射抛光可以较好地改善表面粗糙度,入射角为30°～60°之间时抛光效果最佳,表面粗糙度得到明显改善；倾斜45°入射均匀去除抛光实验结果表明表面粗糙度的RMS值由抛光前(0.92±0.06)nm下降到(0.48±0.04)nm,提高了光学零件的表面质量,验证了离子束倾斜入射抛光可以较好地改善表面粗糙度,实现了离子束倾斜抛光超光滑表面的生成.
基于光學元件離子束高精度確定性拋光技術,在自行研製的離子束拋光機床上,本文研究瞭離子束傾斜入射拋光對光學材料鎔石英錶麵粗糙度的影響.為瞭在離子束拋光中改善錶麵粗糙度,採用瞭0°～80°之間不同入射角度的離子束傾斜拋光和傾斜45°入射均勻去除兩種實驗方案進行研究,其中不同入射角度拋光實驗研究結果錶明:離子束垂直入射拋光較難改善錶麵粗糙度,傾斜入射拋光可以較好地改善錶麵粗糙度,入射角為30°～60°之間時拋光效果最佳,錶麵粗糙度得到明顯改善；傾斜45°入射均勻去除拋光實驗結果錶明錶麵粗糙度的RMS值由拋光前(0.92±0.06)nm下降到(0.48±0.04)nm,提高瞭光學零件的錶麵質量,驗證瞭離子束傾斜入射拋光可以較好地改善錶麵粗糙度,實現瞭離子束傾斜拋光超光滑錶麵的生成.
기우광학원건리자속고정도학정성포광기술,재자행연제적리자속포광궤상상,본문연구료리자속경사입사포광대광학재료용석영표면조조도적영향.위료재리자속포광중개선표면조조도,채용료0°～80°지간불동입사각도적리자속경사포광화경사45°입사균균거제량충실험방안진행연구,기중불동입사각도포광실험연구결과표명:리자속수직입사포광교난개선표면조조도,경사입사포광가이교호지개선표면조조도,입사각위30°～60°지간시포광효과최가,표면조조도득도명현개선；경사45°입사균균거제포광실험결과표명표면조조도적RMS치유포광전(0.92±0.06)nm하강도(0.48±0.04)nm,제고료광학령건적표면질량,험증료리자속경사입사포광가이교호지개선표면조조도,실현료리자속경사포광초광활표면적생성.
