稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2000年
4期
292-295
,共4页
杨坚%石东奇%常世安%袁冠森
楊堅%石東奇%常世安%袁冠森
양견%석동기%상세안%원관삼
CeO2缓冲层%磁控溅射%立方织构%金属镍
CeO2緩遲層%磁控濺射%立方織構%金屬鎳
CeO2완충층%자공천사%립방직구%금속얼
论述了具有立方织构的金属镍基底上, 采用射频磁控溅射的方法制备CeO2缓冲层. 以Ar/H2混合气体作为溅射气体, 有效地抑制了NiO的形成, 获得纯c轴取向的CeO2薄膜. X射线φ扫描、ω扫描和极图的测试分析表明, CeO2薄膜在平面内和垂直于膜面方向晶粒都是有序排列的, 具有良好的立方织构.
論述瞭具有立方織構的金屬鎳基底上, 採用射頻磁控濺射的方法製備CeO2緩遲層. 以Ar/H2混閤氣體作為濺射氣體, 有效地抑製瞭NiO的形成, 穫得純c軸取嚮的CeO2薄膜. X射線φ掃描、ω掃描和極圖的測試分析錶明, CeO2薄膜在平麵內和垂直于膜麵方嚮晶粒都是有序排列的, 具有良好的立方織構.
논술료구유립방직구적금속얼기저상, 채용사빈자공천사적방법제비CeO2완충층. 이Ar/H2혼합기체작위천사기체, 유효지억제료NiO적형성, 획득순c축취향적CeO2박막. X사선φ소묘、ω소묘화겁도적측시분석표명, CeO2박막재평면내화수직우막면방향정립도시유서배렬적, 구유량호적립방직구.
