陶瓷学报
陶瓷學報
도자학보
JOURNAL OF CERAMICS
2006年
1期
92-96
,共5页
韦其红%赵振华%付兴华%侯文萍
韋其紅%趙振華%付興華%侯文萍
위기홍%조진화%부흥화%후문평
BST%退火%X射线衍射%介频谱
BST%退火%X射線衍射%介頻譜
BST%퇴화%X사선연사%개빈보
用醋酸盐和钛酸酯为原料,采用Sol-Gel工艺在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备出Ba0.5/Sr0.5TiO3(BST)铁电薄膜,然后在650-800℃下对BST薄膜进行退火,研究退火温度对钛酸锶钡铁电薄膜的影响.X射线衍射分析表明:退火温度在750℃以上时,BST薄膜转变成较为完整的ABO3型钙钛矿结构;SEM分析表明:750℃热处理的薄膜颗粒较大,且颗粒生长较好;阻抗分析仪测试表明:750℃退火处理的薄膜介电性能最佳;TEM分析表明:750℃晶粒发育完善、清晰,晶粒与晶粒之间比较紧密,且存在微畴区域.
用醋痠鹽和鈦痠酯為原料,採用Sol-Gel工藝在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上製備齣Ba0.5/Sr0.5TiO3(BST)鐵電薄膜,然後在650-800℃下對BST薄膜進行退火,研究退火溫度對鈦痠鍶鋇鐵電薄膜的影響.X射線衍射分析錶明:退火溫度在750℃以上時,BST薄膜轉變成較為完整的ABO3型鈣鈦礦結構;SEM分析錶明:750℃熱處理的薄膜顆粒較大,且顆粒生長較好;阻抗分析儀測試錶明:750℃退火處理的薄膜介電性能最佳;TEM分析錶明:750℃晶粒髮育完善、清晰,晶粒與晶粒之間比較緊密,且存在微疇區域.
용작산염화태산지위원료,채용Sol-Gel공예재Pt/TiO2/SiO2/Si기편상제비출Ba0.5/Sr0.5TiO3(BST)철전박막,연후재650-800℃하대BST박막진행퇴화,연구퇴화온도대태산송패철전박막적영향.X사선연사분석표명:퇴화온도재750℃이상시,BST박막전변성교위완정적ABO3형개태광결구;SEM분석표명:750℃열처리적박막과립교대,차과립생장교호;조항분석의측시표명:750℃퇴화처리적박막개전성능최가;TEM분석표명:750℃정립발육완선、청석,정립여정립지간비교긴밀,차존재미주구역.
