CAJ | 학술논문

为了降低PET瓶的透氧率,采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以C2H2为碳源,Ar为稀释气体,在PET瓶内制备类金刚石(Diamond-like Carbon,简称DLC)薄膜作为阻隔层.采用傅里叶红外透射光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和透氧测试(OIR)等手段对其进行结构、成分、形貌和阻隔性进行分析测试.结果表明,碳氢膜主要由sp3杂化的碳氢化合物组成,薄膜阻氧性与sp3杂化的碳氢化合物含量、膜厚和薄膜表面形貌有关.特别是采用增强(capacitively coupled plasma,CCP和inductively coupled plasma,ICP)放电等离子体源制备的类金刚石膜表面致密,均匀无裂纹,阻隔性明显提高.
위료강저PET병적투양솔,채용사빈등리자체화학기상침적(RF-PECVD)기술,이C2H2위탄원,Ar위희석기체,재PET병내제비류금강석(Diamond-like Carbon,간칭DLC)박막작위조격층.채용부리협홍외투사광보(FTIR)、소묘전자현미경(SEM)、원자력현미경(AFM)화투양측시(OIR)등수단대기진행결구、성분、형모화조격성진행분석측시.결과표명,탄경막주요유sp3잡화적탄경화합물조성,박막조양성여sp3잡화적탄경화합물함량、막후화박막표면형모유관.특별시채용증강(capacitively coupled plasma,CCP화inductively coupled plasma,ICP)방전등리자체원제비적류금강석막표면치밀,균균무렬문,조격성명현제고.