电子与封装
電子與封裝
전자여봉장
EIECTRONICS AND PACKAGING
2010年
3期
23-26,31
,共5页
申小丹%程东明%吴京京%杨光鲲
申小丹%程東明%吳京京%楊光鯤
신소단%정동명%오경경%양광곤
金属氧化物%气敏元件%选择性%稳定性
金屬氧化物%氣敏元件%選擇性%穩定性
금속양화물%기민원건%선택성%은정성
气敏传感器在现代工农业、信息技术、环境监测等领域都有重要应用.随着这几个领域的发展,人类对其综合性能要求越来越强,进而不断积极改良气敏传感器的性能.金属氧化物气敏元件是利用金属氧化物半导体的表面电阻遇到被测气体发生变化的原理制成的电子器件,其选择性和稳定性是研究气敏元件的两项重要指标.文章概述了金属氧化物元件气敏特性的研究进展,介绍了基体材料、掺杂材料、气敏材料的制备工艺、电极材料及结构等几个因素对元件气敏特性的主要影响,并对各种因素的作用机理进行了分析.最后展望了金属氧化物气敏元件的发展前景.
氣敏傳感器在現代工農業、信息技術、環境鑑測等領域都有重要應用.隨著這幾箇領域的髮展,人類對其綜閤性能要求越來越彊,進而不斷積極改良氣敏傳感器的性能.金屬氧化物氣敏元件是利用金屬氧化物半導體的錶麵電阻遇到被測氣體髮生變化的原理製成的電子器件,其選擇性和穩定性是研究氣敏元件的兩項重要指標.文章概述瞭金屬氧化物元件氣敏特性的研究進展,介紹瞭基體材料、摻雜材料、氣敏材料的製備工藝、電極材料及結構等幾箇因素對元件氣敏特性的主要影響,併對各種因素的作用機理進行瞭分析.最後展望瞭金屬氧化物氣敏元件的髮展前景.
기민전감기재현대공농업、신식기술、배경감측등영역도유중요응용.수착저궤개영역적발전,인류대기종합성능요구월래월강,진이불단적겁개량기민전감기적성능.금속양화물기민원건시이용금속양화물반도체적표면전조우도피측기체발생변화적원리제성적전자기건,기선택성화은정성시연구기민원건적량항중요지표.문장개술료금속양화물원건기민특성적연구진전,개소료기체재료、참잡재료、기민재료적제비공예、전겁재료급결구등궤개인소대원건기민특성적주요영향,병대각충인소적작용궤리진행료분석.최후전망료금속양화물기민원건적발전전경.
