计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2010年
6期
481-485
,共5页
计量学%纳米栅线结构%线边缘粗糙度%线宽粗糙度%扫描电子显微镜
計量學%納米柵線結構%線邊緣粗糙度%線寬粗糙度%掃描電子顯微鏡
계량학%납미책선결구%선변연조조도%선관조조도%소묘전자현미경
为了对线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)进行分析和表征,采用电子束光刻工艺和感应耦合等离子体刻蚀工艺制备了两种纳米尺度栅线结构,用扫描电子显微镜(SEM)对所制备结构进行了检测和定性分析.基于离线SEM图像分析法提取了纳米栅线结构的线边缘轮廓.将所提取的线边缘轮廓视为随机信号,分别采用均方根偏差σ、偏斜度Sk、峭度Ku、高高相关函数和功率谱密度函数表征了LER/LWR的幅度特征、形状特征和空间特征,研究了LER/LWR各参数从光刻图形到刻蚀图形的变化,实现了LER/LWR的定量分析和表征.
為瞭對線邊緣粗糙度(LER)和線寬粗糙度(LWR)進行分析和錶徵,採用電子束光刻工藝和感應耦閤等離子體刻蝕工藝製備瞭兩種納米呎度柵線結構,用掃描電子顯微鏡(SEM)對所製備結構進行瞭檢測和定性分析.基于離線SEM圖像分析法提取瞭納米柵線結構的線邊緣輪廓.將所提取的線邊緣輪廓視為隨機信號,分彆採用均方根偏差σ、偏斜度Sk、峭度Ku、高高相關函數和功率譜密度函數錶徵瞭LER/LWR的幅度特徵、形狀特徵和空間特徵,研究瞭LER/LWR各參數從光刻圖形到刻蝕圖形的變化,實現瞭LER/LWR的定量分析和錶徵.
위료대선변연조조도(LER)화선관조조도(LWR)진행분석화표정,채용전자속광각공예화감응우합등리자체각식공예제비료량충납미척도책선결구,용소묘전자현미경(SEM)대소제비결구진행료검측화정성분석.기우리선SEM도상분석법제취료납미책선결구적선변연륜곽.장소제취적선변연륜곽시위수궤신호,분별채용균방근편차σ、편사도Sk、초도Ku、고고상관함수화공솔보밀도함수표정료LER/LWR적폭도특정、형상특정화공간특정,연구료LER/LWR각삼수종광각도형도각식도형적변화,실현료LER/LWR적정량분석화표정.
