CAJ | 학술논문

氧化铝具有优良的绝缘和阻氚性能,是ITER候选功能材料之一.本工作采用射频磁控溅射法在中国低活化马氏体(CLAM)钢基底上制备了氧化铝涂层.分别采用掠入射X射线衍射、Raman激光光谱和原子力显微镜对氧化铝涂层的结构和表面形貌进行了表征;测量了氧化铝涂层体电阻率;研究了氧化铝涂层样品的吸氢特性.结果表明:氧氩比为0.1和0.5下制备的氧化铝涂层为非晶结构,氧氩比为0.4下制备的涂层中出现了结晶程度较差的氧化铝δ相结构;氧氩比为0.1和0.4下制备的涂层粗糙度和粒径均小于氧氩比为0.5下制备的涂层;不同氧氩比下制备的氧化铝涂层体电阻率均超过2.7×1014 Ω·cm,氧氩比为0.4下制备的涂层电阻率最高,达到2.1×1015 Ω·cm;氧氩比为0.5下制备的涂层样品具有最低的吸氢量.氧氩比对涂层的电绝缘特性和吸氢特性有显著影响.
양화려구유우량적절연화조천성능,시ITER후선공능재료지일.본공작채용사빈자공천사법재중국저활화마씨체(CLAM)강기저상제비료양화려도층.분별채용략입사X사선연사、Raman격광광보화원자력현미경대양화려도층적결구화표면형모진행료표정;측량료양화려도층체전조솔;연구료양화려도층양품적흡경특성.결과표명:양아비위0.1화0.5하제비적양화려도층위비정결구,양아비위0.4하제비적도층중출현료결정정도교차적양화려δ상결구;양아비위0.1화0.4하제비적도층조조도화립경균소우양아비위0.5하제비적도층;불동양아비하제비적양화려도층체전조솔균초과2.7×1014 Ω·cm,양아비위0.4하제비적도층전조솔최고,체도2.1×1015 Ω·cm;양아비위0.5하제비적도층양품구유최저적흡경량.양아비대도층적전절연특성화흡경특성유현저영향.