微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
3期
155-158
,共4页
陈昊%潘宏菽%杨霏%霍玉柱%商庆杰%齐国虎%刘志平
陳昊%潘宏菽%楊霏%霍玉柱%商慶傑%齊國虎%劉誌平
진호%반굉숙%양비%곽옥주%상경걸%제국호%류지평
碳化硅%功率器件%连续波%内匹配%微波
碳化硅%功率器件%連續波%內匹配%微波
탄화규%공솔기건%련속파%내필배%미파
利用国产Sic外延材料和自主开发的sic器件工艺加工技术,实现了sic微波功率器件在S波段连续波功率输出大于10 W、功率增益大于9 dB、功率附加效率不低于35%的性能样管,初步显现了Sic器件在S波段连续波大功率、高增益方面的优势.与以往的硅微波功率器件相比,在同样的频率和输出功率下,Sic微波功率器件的体积不到Si器件的1/7,重量不到Si器件的20%,其功率增益较Si器件提高了3 dB以上,器件效率也得到了相应的提高.同时由于Sic微波功率器件的输入、输出阻杭要明显高于Si微波功率器件,在一定程度上可以简化或不用内匹配网络来得到比较高的微波功率增益,这就为器件的小体积、低重量莫定了基础,也为器件的大功率输出创造了条件.
利用國產Sic外延材料和自主開髮的sic器件工藝加工技術,實現瞭sic微波功率器件在S波段連續波功率輸齣大于10 W、功率增益大于9 dB、功率附加效率不低于35%的性能樣管,初步顯現瞭Sic器件在S波段連續波大功率、高增益方麵的優勢.與以往的硅微波功率器件相比,在同樣的頻率和輸齣功率下,Sic微波功率器件的體積不到Si器件的1/7,重量不到Si器件的20%,其功率增益較Si器件提高瞭3 dB以上,器件效率也得到瞭相應的提高.同時由于Sic微波功率器件的輸入、輸齣阻杭要明顯高于Si微波功率器件,在一定程度上可以簡化或不用內匹配網絡來得到比較高的微波功率增益,這就為器件的小體積、低重量莫定瞭基礎,也為器件的大功率輸齣創造瞭條件.
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