光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2001年
6期
501-502
,共2页
高劲松%孙连春%郑宣明%王哲
高勁鬆%孫連春%鄭宣明%王哲
고경송%손련춘%정선명%왕철
ITO膜%射频磁控溅射%表面改性%低温成膜
ITO膜%射頻磁控濺射%錶麵改性%低溫成膜
ITO막%사빈자공천사%표면개성%저온성막
利用射频磁控溅射技术在有机玻璃表面上一次完成表面活化、ITO膜制备、SiO2减反射膜制备过程.利用低能等离子体对有机玻璃表面进行改性以提高ITO膜的附着力.研究了氧分压等工艺参数对ITO膜导电性能及光学性能的影响.
利用射頻磁控濺射技術在有機玻璃錶麵上一次完成錶麵活化、ITO膜製備、SiO2減反射膜製備過程.利用低能等離子體對有機玻璃錶麵進行改性以提高ITO膜的附著力.研究瞭氧分壓等工藝參數對ITO膜導電性能及光學性能的影響.
이용사빈자공천사기술재유궤파리표면상일차완성표면활화、ITO막제비、SiO2감반사막제비과정.이용저능등리자체대유궤파리표면진행개성이제고ITO막적부착력.연구료양분압등공예삼수대ITO막도전성능급광학성능적영향.
