红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2004年
1期
21-24
,共4页
郭新军%王霁%严家骅%周自力
郭新軍%王霽%嚴傢驊%週自力
곽신군%왕제%엄가화%주자력
纳米测量%偏振干涉仪%光学细分
納米測量%偏振榦涉儀%光學細分
납미측량%편진간섭의%광학세분
本干涉仪采用偏振测量和偏振接收装置.对干涉仪光路中激光的偏振态转换进行了详细的理论分析,对偏振干涉仪以及双频干涉仪的研制具有借鉴意义.该装置的重复性试验表明干涉仪重复性在30 nm之内,说明干涉仪的性能比较可靠.如果对环境条件进行严格的控制,会得到更高的测量精度,有望实现纳米精度测量.
本榦涉儀採用偏振測量和偏振接收裝置.對榦涉儀光路中激光的偏振態轉換進行瞭詳細的理論分析,對偏振榦涉儀以及雙頻榦涉儀的研製具有藉鑒意義.該裝置的重複性試驗錶明榦涉儀重複性在30 nm之內,說明榦涉儀的性能比較可靠.如果對環境條件進行嚴格的控製,會得到更高的測量精度,有望實現納米精度測量.
본간섭의채용편진측량화편진접수장치.대간섭의광로중격광적편진태전환진행료상세적이론분석,대편진간섭의이급쌍빈간섭의적연제구유차감의의.해장치적중복성시험표명간섭의중복성재30 nm지내,설명간섭의적성능비교가고.여과대배경조건진행엄격적공제,회득도경고적측량정도,유망실현납미정도측량.
