微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2006年
1期
37-42,63
,共7页
王彬%陈翔%金庆辉%赵建龙%徐元森
王彬%陳翔%金慶輝%趙建龍%徐元森
왕빈%진상%금경휘%조건룡%서원삼
电磁微机电系统%生物医学工程%芯片
電磁微機電繫統%生物醫學工程%芯片
전자미궤전계통%생물의학공정%심편
阐述了电磁MEMS技术在生物医学工程中的应用,包括微流体及微阵列芯片上基于磁珠的生物检测、核磁共振(NMR)及其他生物医学器械微型化改进等.介绍了电磁MEMS技术中的典型制作技术,展望了电磁MEMS技术的应用前景.
闡述瞭電磁MEMS技術在生物醫學工程中的應用,包括微流體及微陣列芯片上基于磁珠的生物檢測、覈磁共振(NMR)及其他生物醫學器械微型化改進等.介紹瞭電磁MEMS技術中的典型製作技術,展望瞭電磁MEMS技術的應用前景.
천술료전자MEMS기술재생물의학공정중적응용,포괄미류체급미진렬심편상기우자주적생물검측、핵자공진(NMR)급기타생물의학기계미형화개진등.개소료전자MEMS기술중적전형제작기술,전망료전자MEMS기술적응용전경.
