人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
1期
129-133
,共5页
赵子文%胡礼中%张贺秋%孙景昌%刘维峰%骆英民%霍炳至
趙子文%鬍禮中%張賀鞦%孫景昌%劉維峰%駱英民%霍炳至
조자문%호례중%장하추%손경창%류유봉%락영민%곽병지
ZnO薄膜%脉冲激光沉积%衬底温度
ZnO薄膜%脈遲激光沉積%襯底溫度
ZnO박막%맥충격광침적%츤저온도
利用脉冲激光沉积法(PLD)在c面蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜并对其进行了X射线衍射(XRD)、反射式高能电子衍射(RHEED)、光致发光(PL)谱和霍尔(Hall)测试.RHEED和XRD分析表明,温度在350℃至550℃之间时,ZnO薄膜的结晶质量随着衬底温度的升高而提高,当衬底温度进一步升高后,ZnO薄膜的结晶质量开始下降.四个样品中,衬底温度为550℃的样品具有最清晰的规则点状RHEED图像和半高宽最窄的(0002)衍射峰.PL谱和Hall测量的结果表明,衬底温度为550℃的样品还具有最好的发光性质和最大的霍尔迁移率.
利用脈遲激光沉積法(PLD)在c麵藍寶石襯底上製備瞭ZnO薄膜併對其進行瞭X射線衍射(XRD)、反射式高能電子衍射(RHEED)、光緻髮光(PL)譜和霍爾(Hall)測試.RHEED和XRD分析錶明,溫度在350℃至550℃之間時,ZnO薄膜的結晶質量隨著襯底溫度的升高而提高,噹襯底溫度進一步升高後,ZnO薄膜的結晶質量開始下降.四箇樣品中,襯底溫度為550℃的樣品具有最清晰的規則點狀RHEED圖像和半高寬最窄的(0002)衍射峰.PL譜和Hall測量的結果錶明,襯底溫度為550℃的樣品還具有最好的髮光性質和最大的霍爾遷移率.
이용맥충격광침적법(PLD)재c면람보석츤저상제비료ZnO박막병대기진행료X사선연사(XRD)、반사식고능전자연사(RHEED)、광치발광(PL)보화곽이(Hall)측시.RHEED화XRD분석표명,온도재350℃지550℃지간시,ZnO박막적결정질량수착츤저온도적승고이제고,당츤저온도진일보승고후,ZnO박막적결정질량개시하강.사개양품중,츤저온도위550℃적양품구유최청석적규칙점상RHEED도상화반고관최착적(0002)연사봉.PL보화Hall측량적결과표명,츤저온도위550℃적양품환구유최호적발광성질화최대적곽이천이솔.
