武汉大学学报（理学版）
武漢大學學報（理學版）
무한대학학보（이학판）
JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
3期
317-320
,共4页
张兰月%任峰%肖湘衡%蔡光旭%李芳%蒋昌忠
張蘭月%任峰%肖湘衡%蔡光旭%李芳%蔣昌忠
장란월%임봉%초상형%채광욱%리방%장창충
离子注入%量子点%热退火
離子註入%量子點%熱退火
리자주입%양자점%열퇴화
将Zn/F离子先后注入到非晶二氧化硅中并分别在400,600,700 ℃下进行了退火.用光学吸收谱、透射电子显微镜(TEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对退火的样品进行分析,发现在600 ℃退火后ZnO量子点已经形成.二次离子质谱仪(SIMS)测试发现在溅射时间为2 s时Si,Zn元素同时出现,说明没有在衬底的表面形成ZnO薄膜.从原子力显微镜(AFM)图像看到有少量的颗粒被蒸发到衬底的表面,说明在衬底的内部形成了ZnO量子点.F离子注入的作用为在衬底的内部形成ZnO量子点提供了O2分子.
將Zn/F離子先後註入到非晶二氧化硅中併分彆在400,600,700 ℃下進行瞭退火.用光學吸收譜、透射電子顯微鏡(TEM)、高分辨透射電子顯微鏡(HRTEM)對退火的樣品進行分析,髮現在600 ℃退火後ZnO量子點已經形成.二次離子質譜儀(SIMS)測試髮現在濺射時間為2 s時Si,Zn元素同時齣現,說明沒有在襯底的錶麵形成ZnO薄膜.從原子力顯微鏡(AFM)圖像看到有少量的顆粒被蒸髮到襯底的錶麵,說明在襯底的內部形成瞭ZnO量子點.F離子註入的作用為在襯底的內部形成ZnO量子點提供瞭O2分子.
장Zn/F리자선후주입도비정이양화규중병분별재400,600,700 ℃하진행료퇴화.용광학흡수보、투사전자현미경(TEM)、고분변투사전자현미경(HRTEM)대퇴화적양품진행분석,발현재600 ℃퇴화후ZnO양자점이경형성.이차리자질보의(SIMS)측시발현재천사시간위2 s시Si,Zn원소동시출현,설명몰유재츤저적표면형성ZnO박막.종원자력현미경(AFM)도상간도유소량적과립피증발도츤저적표면,설명재츤저적내부형성료ZnO양자점.F리자주입적작용위재츤저적내부형성ZnO양자점제공료O2분자.
