光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2009年
8期
1964-1970
,共7页
安源%金光%齐迎春%孙小伟%蒋宁%艾晨光
安源%金光%齊迎春%孫小偉%蔣寧%艾晨光
안원%금광%제영춘%손소위%장저%애신광
薄膜反射镜%单电极控制%静电拉伸
薄膜反射鏡%單電極控製%靜電拉伸
박막반사경%단전겁공제%정전랍신
考虑薄膜反射镜具有质量轻、柔韧性好、可折叠等优点,研究了由静电拉伸法制备薄膜反射镜的新技术.介绍了薄膜反射镜的静电成形机理,计算了单电极模式下薄膜所受力场,设计了单电极式薄膜反射镜的控制实验.给出了控制成型所需的主要参数,设计了薄膜反射镜的夹持结构和控制电路,并利用刀口仪测量了形成的反射面的焦距.实验结果显示,未通电时薄膜反射镜面形的PV值达到11.14λ, RMS值为1.86λ,在10 000 V的高压下可以形成焦距约为2.1 m的反射镜面.通过Zernike拟合验证了数据的可靠性,结果表明,通过改善夹持结构精度和选取性能优良的薄膜材料,反射镜面形精度可进一步提高.
攷慮薄膜反射鏡具有質量輕、柔韌性好、可摺疊等優點,研究瞭由靜電拉伸法製備薄膜反射鏡的新技術.介紹瞭薄膜反射鏡的靜電成形機理,計算瞭單電極模式下薄膜所受力場,設計瞭單電極式薄膜反射鏡的控製實驗.給齣瞭控製成型所需的主要參數,設計瞭薄膜反射鏡的夾持結構和控製電路,併利用刀口儀測量瞭形成的反射麵的焦距.實驗結果顯示,未通電時薄膜反射鏡麵形的PV值達到11.14λ, RMS值為1.86λ,在10 000 V的高壓下可以形成焦距約為2.1 m的反射鏡麵.通過Zernike擬閤驗證瞭數據的可靠性,結果錶明,通過改善夾持結構精度和選取性能優良的薄膜材料,反射鏡麵形精度可進一步提高.
고필박막반사경구유질량경、유인성호、가절첩등우점,연구료유정전랍신법제비박막반사경적신기술.개소료박막반사경적정전성형궤리,계산료단전겁모식하박막소수력장,설계료단전겁식박막반사경적공제실험.급출료공제성형소수적주요삼수,설계료박막반사경적협지결구화공제전로,병이용도구의측량료형성적반사면적초거.실험결과현시,미통전시박막반사경면형적PV치체도11.14λ, RMS치위1.86λ,재10 000 V적고압하가이형성초거약위2.1 m적반사경면.통과Zernike의합험증료수거적가고성,결과표명,통과개선협지결구정도화선취성능우량적박막재료,반사경면형정도가진일보제고.
