中南大学学报（自然科学版）
中南大學學報（自然科學版）
중남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CENTRAL SOUTH UNIVERSITY
2010年
1期
138-143
,共6页
周继承%荣林艳%赵保星%李莉
週繼承%榮林豔%趙保星%李莉
주계승%영림염%조보성%리리
TiOx薄膜%直流反应磁控溅射%氧气流量
TiOx薄膜%直流反應磁控濺射%氧氣流量
TiOx박막%직류반응자공천사%양기류량
用直流反应磁控溅射法在未加热的玻璃基片上制备出晶态TiOx(x＜2)薄膜,研究关键工艺因素即氧气流量对薄膜的沉积速率、表面形貌、显微结构和光学特性的影响.研究结果表明:随着氧气流量增加,薄膜的沉积速率从38.54 nm/min下降到3.28 nm/min,溅射模式也从转变模式过渡到氧化模式,薄膜表面均方根粗糙度逐渐减小,表面更趋平整;当氧气流量≤5 mL/min时,得到不透明的晶态TiOx(x＜2)薄膜;当氧气流量＞5 mL/min时,所沉积的TiOx薄膜呈透明非晶态,薄膜平均透射率高于80%.
用直流反應磁控濺射法在未加熱的玻璃基片上製備齣晶態TiOx(x＜2)薄膜,研究關鍵工藝因素即氧氣流量對薄膜的沉積速率、錶麵形貌、顯微結構和光學特性的影響.研究結果錶明:隨著氧氣流量增加,薄膜的沉積速率從38.54 nm/min下降到3.28 nm/min,濺射模式也從轉變模式過渡到氧化模式,薄膜錶麵均方根粗糙度逐漸減小,錶麵更趨平整;噹氧氣流量≤5 mL/min時,得到不透明的晶態TiOx(x＜2)薄膜;噹氧氣流量＞5 mL/min時,所沉積的TiOx薄膜呈透明非晶態,薄膜平均透射率高于80%.
용직류반응자공천사법재미가열적파리기편상제비출정태TiOx(x＜2)박막,연구관건공예인소즉양기류량대박막적침적속솔、표면형모、현미결구화광학특성적영향.연구결과표명:수착양기류량증가,박막적침적속솔종38.54 nm/min하강도3.28 nm/min,천사모식야종전변모식과도도양화모식,박막표면균방근조조도축점감소,표면경추평정;당양기류량≤5 mL/min시,득도불투명적정태TiOx(x＜2)박막;당양기류량＞5 mL/min시,소침적적TiOx박막정투명비정태,박막평균투사솔고우80%.
