材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
6期
93-96
,共4页
郑小秋%谢世坤%易荣喜%吴卫
鄭小鞦%謝世坤%易榮喜%吳衛
정소추%사세곤%역영희%오위
磁致冷材料%磁控溅射%不锈钢%薄膜%生长形貌%附着强度
磁緻冷材料%磁控濺射%不鏽鋼%薄膜%生長形貌%附著彊度
자치랭재료%자공천사%불수강%박막%생장형모%부착강도
为探讨磁致冷材料Gd表面溅射保护膜后的附着性能,利用直流磁控溅射技术在Gd基体上镀不锈钢(1Cr18Ni9Ti)薄膜.采用扫描电镜(SEM)﹑能谱仪﹑扫描探针显微镜对薄膜进行了表征,并用引拉法测定了薄膜的附着强度.结果表明,不锈钢薄膜溅射初期呈岛状分布;溅射一定时间后薄膜呈层状生长,表面质量好,膜/基界面结合好,附着强度高,在功率密度为966W/cm2、溅射时间为8min时附着强度达到最大值24.7MPa.
為探討磁緻冷材料Gd錶麵濺射保護膜後的附著性能,利用直流磁控濺射技術在Gd基體上鍍不鏽鋼(1Cr18Ni9Ti)薄膜.採用掃描電鏡(SEM)﹑能譜儀﹑掃描探針顯微鏡對薄膜進行瞭錶徵,併用引拉法測定瞭薄膜的附著彊度.結果錶明,不鏽鋼薄膜濺射初期呈島狀分佈;濺射一定時間後薄膜呈層狀生長,錶麵質量好,膜/基界麵結閤好,附著彊度高,在功率密度為966W/cm2、濺射時間為8min時附著彊度達到最大值24.7MPa.
위탐토자치랭재료Gd표면천사보호막후적부착성능,이용직류자공천사기술재Gd기체상도불수강(1Cr18Ni9Ti)박막.채용소묘전경(SEM)﹑능보의﹑소묘탐침현미경대박막진행료표정,병용인랍법측정료박막적부착강도.결과표명,불수강박막천사초기정도상분포;천사일정시간후박막정층상생장,표면질량호,막/기계면결합호,부착강도고,재공솔밀도위966W/cm2、천사시간위8min시부착강도체도최대치24.7MPa.
