中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2011年
4期
7-12
,共6页
吕艳红%孔庆花%吉利%李红轩%刘晓红%陈建敏%周惠娣
呂豔紅%孔慶花%吉利%李紅軒%劉曉紅%陳建敏%週惠娣
려염홍%공경화%길리%리홍헌%류효홍%진건민%주혜제
磁控溅射%CrAlN薄膜%微观结构%硬度%腐蚀
磁控濺射%CrAlN薄膜%微觀結構%硬度%腐蝕
자공천사%CrAlN박막%미관결구%경도%부식
采用中频非平衡反应磁控溅射技术制备CrAlN薄膜,研究了氮气分压对CrAlN薄膜的沉积速率、薄膜成分、微观结构、机械性能和耐腐蚀性能的影响,并与CrN薄膜的性能进行了比较.研究表明,相比较CrN薄膜而言,CrAlN薄膜的硬度高,结构致密,耐腐蚀性好.随着氮气流量的升高,CrAlN薄膜沉积速率降低,Cr/Al比率升高；薄膜中CrN(200)衍射峰强度逐渐增强,六方结构的AlN相逐渐消失；薄膜的粗糙度由39 nm降低至10 nm,并且腐蚀电位升高,耐腐性增强.当氮气流量为53 mL/min时,CrAlN薄膜具有最佳的硬度和优良的耐腐蚀性能.
採用中頻非平衡反應磁控濺射技術製備CrAlN薄膜,研究瞭氮氣分壓對CrAlN薄膜的沉積速率、薄膜成分、微觀結構、機械性能和耐腐蝕性能的影響,併與CrN薄膜的性能進行瞭比較.研究錶明,相比較CrN薄膜而言,CrAlN薄膜的硬度高,結構緻密,耐腐蝕性好.隨著氮氣流量的升高,CrAlN薄膜沉積速率降低,Cr/Al比率升高；薄膜中CrN(200)衍射峰彊度逐漸增彊,六方結構的AlN相逐漸消失；薄膜的粗糙度由39 nm降低至10 nm,併且腐蝕電位升高,耐腐性增彊.噹氮氣流量為53 mL/min時,CrAlN薄膜具有最佳的硬度和優良的耐腐蝕性能.
채용중빈비평형반응자공천사기술제비CrAlN박막,연구료담기분압대CrAlN박막적침적속솔、박막성분、미관결구、궤계성능화내부식성능적영향,병여CrN박막적성능진행료비교.연구표명,상비교CrN박막이언,CrAlN박막적경도고,결구치밀,내부식성호.수착담기류량적승고,CrAlN박막침적속솔강저,Cr/Al비솔승고；박막중CrN(200)연사봉강도축점증강,륙방결구적AlN상축점소실；박막적조조도유39 nm강저지10 nm,병차부식전위승고,내부성증강.당담기류량위53 mL/min시,CrAlN박막구유최가적경도화우량적내부식성능.
