工业计量
工業計量
공업계량
INDUSTRIAL MEASUREMENT
2012年
1期
5-8
,共4页
刘一%赵俊%邹子英%雷李华
劉一%趙俊%鄒子英%雷李華
류일%조준%추자영%뢰리화
膜厚均匀性%纳米测量机%激光聚焦式测头
膜厚均勻性%納米測量機%激光聚焦式測頭
막후균균성%납미측량궤%격광취초식측두
镀膜在国民经济生活中得到广泛应用.影响镀膜性能的一个主要参数是膜层在整个基片上的厚度均匀性.利用挡板在基片上多个区域沉积台阶,测量台阶高度的差值用于分析膜厚的均匀性.通过集成非接触聚焦式测头的纳米测量机进行测量,针对镀膜产品上各个特殊的曲面台阶,以参差平方和为标准,用基底无台阶区域的曲线模型拟合台阶底部曲线,参考ISO 5436-1:2000的台阶评价方法,对镀膜基片上多台阶进行了评价.该方法可以用于镀膜机的验收.
鍍膜在國民經濟生活中得到廣汎應用.影響鍍膜性能的一箇主要參數是膜層在整箇基片上的厚度均勻性.利用擋闆在基片上多箇區域沉積檯階,測量檯階高度的差值用于分析膜厚的均勻性.通過集成非接觸聚焦式測頭的納米測量機進行測量,針對鍍膜產品上各箇特殊的麯麵檯階,以參差平方和為標準,用基底無檯階區域的麯線模型擬閤檯階底部麯線,參攷ISO 5436-1:2000的檯階評價方法,對鍍膜基片上多檯階進行瞭評價.該方法可以用于鍍膜機的驗收.
도막재국민경제생활중득도엄범응용.영향도막성능적일개주요삼수시막층재정개기편상적후도균균성.이용당판재기편상다개구역침적태계,측량태계고도적차치용우분석막후적균균성.통과집성비접촉취초식측두적납미측량궤진행측량,침대도막산품상각개특수적곡면태계,이삼차평방화위표준,용기저무태계구역적곡선모형의합태계저부곡선,삼고ISO 5436-1:2000적태계평개방법,대도막기편상다태계진행료평개.해방법가이용우도막궤적험수.
