光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2004年
3期
287-291
,共5页
段智勇%王庆康%曾令刚%费继承
段智勇%王慶康%曾令剛%費繼承
단지용%왕경강%증령강%비계승
纳米马达%压电陶瓷%执行器%光栅计量系统
納米馬達%壓電陶瓷%執行器%光柵計量繫統
납미마체%압전도자%집행기%광책계량계통
设计并制作完成了一种基于压电陶瓷逆压电效应的纳米精度压电步进马达.根据其结构简化模型,推导出该压电纳米马达在脉冲电源作用下的运动特性表达式.编写软件,设定参数对压电马达的运动性能进行模拟,结果表明了马达的线性步进运动特点.设计光栅测试系统,对压电马达样机进行运动测试,试验结果证实了模拟结构的正确性.该类压电纳米马达具有可以实现连续步进位移,步进速度快,单步分辨率小,行程长和便于利用微机实现智能控制等特点.纳米马达的位移分辨率可以达到10 nm,最快速度为0.6 mm/s,最长行程为5 cm.
設計併製作完成瞭一種基于壓電陶瓷逆壓電效應的納米精度壓電步進馬達.根據其結構簡化模型,推導齣該壓電納米馬達在脈遲電源作用下的運動特性錶達式.編寫軟件,設定參數對壓電馬達的運動性能進行模擬,結果錶明瞭馬達的線性步進運動特點.設計光柵測試繫統,對壓電馬達樣機進行運動測試,試驗結果證實瞭模擬結構的正確性.該類壓電納米馬達具有可以實現連續步進位移,步進速度快,單步分辨率小,行程長和便于利用微機實現智能控製等特點.納米馬達的位移分辨率可以達到10 nm,最快速度為0.6 mm/s,最長行程為5 cm.
설계병제작완성료일충기우압전도자역압전효응적납미정도압전보진마체.근거기결구간화모형,추도출해압전납미마체재맥충전원작용하적운동특성표체식.편사연건,설정삼수대압전마체적운동성능진행모의,결과표명료마체적선성보진운동특점.설계광책측시계통,대압전마체양궤진행운동측시,시험결과증실료모의결구적정학성.해류압전납미마체구유가이실현련속보진위이,보진속도쾌,단보분변솔소,행정장화편우이용미궤실현지능공제등특점.납미마체적위이분변솔가이체도10 nm,최쾌속도위0.6 mm/s,최장행정위5 cm.
