光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2004年
4期
26-29
,共4页
压电陶瓷%微步进机构%步进运动
壓電陶瓷%微步進機構%步進運動
압전도자%미보진궤구%보진운동
研制了一种压电陶瓷驱动的微步进机构,介绍了步进机构的工作原理,进行了可行性实验,测试了步进机构的步长和动态响应性能,给出了运动速度的近似公式.实验表明,该步进机构能够实现高速度、小步长(纳米至微米级)、大行程的步进运动.
研製瞭一種壓電陶瓷驅動的微步進機構,介紹瞭步進機構的工作原理,進行瞭可行性實驗,測試瞭步進機構的步長和動態響應性能,給齣瞭運動速度的近似公式.實驗錶明,該步進機構能夠實現高速度、小步長(納米至微米級)、大行程的步進運動.
연제료일충압전도자구동적미보진궤구,개소료보진궤구적공작원리,진행료가행성실험,측시료보진궤구적보장화동태향응성능,급출료운동속도적근사공식.실험표명,해보진궤구능구실현고속도、소보장(납미지미미급)、대행정적보진운동.
