电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2006年
3期
200-203
,共4页
沈博侃%王志红%钟智勇%曾慧中
瀋博侃%王誌紅%鐘智勇%曾慧中
침박간%왕지홍%종지용%증혜중
磁畴%Co60Fe20B20软磁薄膜%薄膜厚度%垂直各向异性
磁疇%Co60Fe20B20軟磁薄膜%薄膜厚度%垂直各嚮異性
자주%Co60Fe20B20연자박막%박막후도%수직각향이성
本文利用磁力显微镜(MFM)主要研究了由磁控溅射法制备的Co60Fe20B20软磁薄膜的厚度变化(2.5nm～400nm)对薄膜磁畴结构的影响.在室温下观察到垂直各向异性随薄膜厚度的增大而增大.从薄膜的表面形貌像观察到在溅射过程中薄膜温度随薄膜厚度增大而升高.当薄膜厚度小于20nm时,磁畴尺寸随薄膜厚度的增大而增大;当薄膜厚度大于20nm时,磁畴尺寸随薄膜厚度的增大而减小;厚度在20nm附近时,畴壁尺寸达到一个最小值.
本文利用磁力顯微鏡(MFM)主要研究瞭由磁控濺射法製備的Co60Fe20B20軟磁薄膜的厚度變化(2.5nm～400nm)對薄膜磁疇結構的影響.在室溫下觀察到垂直各嚮異性隨薄膜厚度的增大而增大.從薄膜的錶麵形貌像觀察到在濺射過程中薄膜溫度隨薄膜厚度增大而升高.噹薄膜厚度小于20nm時,磁疇呎吋隨薄膜厚度的增大而增大;噹薄膜厚度大于20nm時,磁疇呎吋隨薄膜厚度的增大而減小;厚度在20nm附近時,疇壁呎吋達到一箇最小值.
본문이용자력현미경(MFM)주요연구료유자공천사법제비적Co60Fe20B20연자박막적후도변화(2.5nm～400nm)대박막자주결구적영향.재실온하관찰도수직각향이성수박막후도적증대이증대.종박막적표면형모상관찰도재천사과정중박막온도수박막후도증대이승고.당박막후도소우20nm시,자주척촌수박막후도적증대이증대;당박막후도대우20nm시,자주척촌수박막후도적증대이감소;후도재20nm부근시,주벽척촌체도일개최소치.
