压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2006年
5期
530-533
,共4页
微位移器%PZT陶瓷%压电陶瓷
微位移器%PZT陶瓷%壓電陶瓷
미위이기%PZT도자%압전도자
具有三自由度的微位移器的组成为:掺Sr和Mn的PZT制成的厚度为0.15 mm的二个同心圆环,用有机胶水紧密地粘贴在一个铜圆片上,铜片的中央焊有一根长100 mm, 直径φ2.5 mm的铜杆,其端头安装一个由陶瓷片做成的小平台, 作为微位移器的工作台.在外圈的PZT陶瓷环被四等分成四个彼此分开的扇形,其中相邻二个扇形的极化方向与中央PZT陶瓷环的极化方向相同,其余两个扇形的极化方向则与此相反.中央陶瓷环和极化方向不同的二组陶瓷扇形分别同3个直流电源相联.通过适当变化加在三组压电陶瓷上的电压,引起压电陶瓷变形,从而使与之相联的铜片发生弯曲形变,带动其中心铜杆顶端的平台,使之既沿垂直方向(z轴)移动,又围绕z轴作x, y方向的运动.
具有三自由度的微位移器的組成為:摻Sr和Mn的PZT製成的厚度為0.15 mm的二箇同心圓環,用有機膠水緊密地粘貼在一箇銅圓片上,銅片的中央銲有一根長100 mm, 直徑φ2.5 mm的銅桿,其耑頭安裝一箇由陶瓷片做成的小平檯, 作為微位移器的工作檯.在外圈的PZT陶瓷環被四等分成四箇彼此分開的扇形,其中相鄰二箇扇形的極化方嚮與中央PZT陶瓷環的極化方嚮相同,其餘兩箇扇形的極化方嚮則與此相反.中央陶瓷環和極化方嚮不同的二組陶瓷扇形分彆同3箇直流電源相聯.通過適噹變化加在三組壓電陶瓷上的電壓,引起壓電陶瓷變形,從而使與之相聯的銅片髮生彎麯形變,帶動其中心銅桿頂耑的平檯,使之既沿垂直方嚮(z軸)移動,又圍繞z軸作x, y方嚮的運動.
구유삼자유도적미위이기적조성위:참Sr화Mn적PZT제성적후도위0.15 mm적이개동심원배,용유궤효수긴밀지점첩재일개동원편상,동편적중앙한유일근장100 mm, 직경φ2.5 mm적동간,기단두안장일개유도자편주성적소평태, 작위미위이기적공작태.재외권적PZT도자배피사등분성사개피차분개적선형,기중상린이개선형적겁화방향여중앙PZT도자배적겁화방향상동,기여량개선형적겁화방향칙여차상반.중앙도자배화겁화방향불동적이조도자선형분별동3개직류전원상련.통과괄당변화가재삼조압전도자상적전압,인기압전도자변형,종이사여지상련적동편발생만곡형변,대동기중심동간정단적평태,사지기연수직방향(z축)이동,우위요z축작x, y방향적운동.
