给水排水
給水排水
급수배수
2006年
7期
59-61
,共3页
蒋卫刚%季连芳%甘晓明%邢绍文
蔣衛剛%季連芳%甘曉明%邢紹文
장위강%계련방%감효명%형소문
芯片生产废水%氟%氨%设备选型
芯片生產廢水%氟%氨%設備選型
심편생산폐수%불%안%설비선형
通过实地调研,结合工程经验,采用比较分析的方法,就芯片生产废水中典型的含氨废水、含氟废水、研磨废水和酸碱废水的处理分别给出了较优的处理工艺流程,即浓氨吹脱-两段沉淀-三级酸碱中和处理工艺,其处理效果较好,将含氟废水与CMP研磨废水混合处理可节省投资.同时,介绍了设备选型中应注意的问题.
通過實地調研,結閤工程經驗,採用比較分析的方法,就芯片生產廢水中典型的含氨廢水、含氟廢水、研磨廢水和痠堿廢水的處理分彆給齣瞭較優的處理工藝流程,即濃氨吹脫-兩段沉澱-三級痠堿中和處理工藝,其處理效果較好,將含氟廢水與CMP研磨廢水混閤處理可節省投資.同時,介紹瞭設備選型中應註意的問題.
통과실지조연,결합공정경험,채용비교분석적방법,취심편생산폐수중전형적함안폐수、함불폐수、연마폐수화산감폐수적처리분별급출료교우적처리공예류정,즉농안취탈-량단침정-삼급산감중화처리공예,기처리효과교호,장함불폐수여CMP연마폐수혼합처리가절성투자.동시,개소료설비선형중응주의적문제.
