微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
7期
411-415
,共5页
章安良%刘尉悦%蒋志迪%费景臣
章安良%劉尉悅%蔣誌迪%費景臣
장안량%류위열%장지적%비경신
声表面波%数字微流体%叉指换能器%微加热器%反射栅
聲錶麵波%數字微流體%扠指換能器%微加熱器%反射柵
성표면파%수자미류체%차지환능기%미가열기%반사책
设计了在128°旋转Y切割X传播方向LiNbO2基片上研制了数字微流体微加热器.它由压电基片上两个叉指换能器构成,当由功率放大器放大后的射频电信号加到叉指换能器时,其激发的声表面波经微流体后转化为径向表面波,并辐射入微流体达到加温效果.停止加电信号后,微流体能量向外界辐射迅速降温.采用2μL的甘油微液滴进行升温实验,结果表明:微流体温度变化由外加电信号强度和持续时间决定,在电信号强度为19 V时,微流体的温度上升速率为1.5℃/s,与理论6.2℃/s结果基本相符.
設計瞭在128°鏇轉Y切割X傳播方嚮LiNbO2基片上研製瞭數字微流體微加熱器.它由壓電基片上兩箇扠指換能器構成,噹由功率放大器放大後的射頻電信號加到扠指換能器時,其激髮的聲錶麵波經微流體後轉化為徑嚮錶麵波,併輻射入微流體達到加溫效果.停止加電信號後,微流體能量嚮外界輻射迅速降溫.採用2μL的甘油微液滴進行升溫實驗,結果錶明:微流體溫度變化由外加電信號彊度和持續時間決定,在電信號彊度為19 V時,微流體的溫度上升速率為1.5℃/s,與理論6.2℃/s結果基本相符.
설계료재128°선전Y절할X전파방향LiNbO2기편상연제료수자미류체미가열기.타유압전기편상량개차지환능기구성,당유공솔방대기방대후적사빈전신호가도차지환능기시,기격발적성표면파경미류체후전화위경향표면파,병복사입미류체체도가온효과.정지가전신호후,미류체능량향외계복사신속강온.채용2μL적감유미액적진행승온실험,결과표명:미류체온도변화유외가전신호강도화지속시간결정,재전신호강도위19 V시,미류체적온도상승속솔위1.5℃/s,여이론6.2℃/s결과기본상부.
