传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2009年
4期
91-93
,共3页
陈传治%马晋毅%左伯莉%江洪敏
陳傳治%馬晉毅%左伯莉%江洪敏
진전치%마진의%좌백리%강홍민
声表面波谐振器%双声路%毒剂%气体传感器
聲錶麵波諧振器%雙聲路%毒劑%氣體傳感器
성표면파해진기%쌍성로%독제%기체전감기
对声表面波(SAW)芯片结构类型、参数条件、覆膜方法及制作工艺流程进行了详细研究,设计了一种新型双声路谐振器型SAW毒剂传感器,并以聚表氯醇PECH为敏感膜材料,测试了该传感器对芥子气(HD)的检测性能,结果表明:该传感器具有稳定性好、灵敏度高、响应快速、适于连续实时检测等特点,为发展毒剂检测器材提供了依据.
對聲錶麵波(SAW)芯片結構類型、參數條件、覆膜方法及製作工藝流程進行瞭詳細研究,設計瞭一種新型雙聲路諧振器型SAW毒劑傳感器,併以聚錶氯醇PECH為敏感膜材料,測試瞭該傳感器對芥子氣(HD)的檢測性能,結果錶明:該傳感器具有穩定性好、靈敏度高、響應快速、適于連續實時檢測等特點,為髮展毒劑檢測器材提供瞭依據.
대성표면파(SAW)심편결구류형、삼수조건、복막방법급제작공예류정진행료상세연구,설계료일충신형쌍성로해진기형SAW독제전감기,병이취표록순PECH위민감막재료,측시료해전감기대개자기(HD)적검측성능,결과표명:해전감기구유은정성호、령민도고、향응쾌속、괄우련속실시검측등특점,위발전독제검측기재제공료의거.
